手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進(jìn)行檢測的。應(yīng)用范圍：手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動測試。極低溫測試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。GaN 探針臺供應(yīng)

    探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時去點(diǎn)測？6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測到的電流的量級）。 MOSFET探針臺產(chǎn)品介紹探針臺是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)的檢測標(biāo)配。

探針臺操作步驟：1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈（LED或光源機(jī)）;3.打開背光面板光源開關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點(diǎn)針操作步驟：1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置，將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測完畢后，逆時針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機(jī)構(gòu)時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。手動探針臺的工作原理。

雙面點(diǎn)針探針臺可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針，以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測試需求。該定制探針臺具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項(xiàng)升級功能?？蓮V泛應(yīng)用于集成電路、Wafer，LED、LCD、太陽能電。產(chǎn)品優(yōu)勢：可同時完成DC和RF測試大手柄雙驅(qū)動，省時，省力，省心雙光路系統(tǒng)，上光路可升級加載光電流系統(tǒng)。芯片內(nèi)部線路/pad/電級的IV/CV測試l材料/器件的IV/CV性能測試及FAl芯片/面板內(nèi)部線路修改/去層（介質(zhì)絕緣層/鈍化層l可對金屬線路層激光斷線或開路進(jìn)行熔接l激光可選擇性去除特定材料而不損傷下層或基底l激光**小加工精度1*1μml芯片研發(fā)流片驗(yàn)證+失效分析**l激光打標(biāo)LaserMarklLasercut、Laserweld、Laserrepaill超快短脈沖激光精細(xì)微加工修復(fù)系統(tǒng)探針臺是半導(dǎo)體、晶圓、集成電路中重要的檢測設(shè)備。山東高低溫探針臺

卡盤同時具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離。GaN 探針臺供應(yīng)

探針臺由哪些部分組成？1.樣品臺（載物臺）載物臺是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能?？寺逯Z斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備，重復(fù)定位精度達(dá)±50納米，可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時間內(nèi)完美定位，完成晶圓在量測端的極精密的檢測。2.光學(xué)元件這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針前列對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。3.卡盤有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置，就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產(chǎn)率。 GaN 探針臺供應(yīng)

上海波銘科學(xué)儀器有限公司致力于儀器儀表，是一家貿(mào)易型公司。波銘科儀致力于為客戶提供良好的拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。波銘科儀秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點(diǎn)競爭力。