無論是芯片設計的可靠性驗證測試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測試和CP測試，探針臺在其中起著至關重要的作用。探針臺設備主要技術壁壘在系統(tǒng)的精細定位、微米級運動以及高準確率通信等關鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對半導體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國產(chǎn)化技術的發(fā)展進程不斷加快，中國半導體設備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機會。在國內(nèi)半導體設備市場中，探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設備。探針臺基本配置包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等。武漢探針臺系統(tǒng)

低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內(nèi)置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進的密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機和專有的熱管理，可以經(jīng)濟快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動符合行業(yè)標準。超穩(wěn)定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統(tǒng)有以下特點：1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導出。上海SiC探針臺探針臺廣泛應用于科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。

對于一些實驗室或者研究機構來說，手動探針臺是必不可少的設備，但是這類設備在市面上的廠家非常多，尤其是現(xiàn)在互聯(lián)網(wǎng)非常發(fā)達，百度搜索至少可以找到上百個廠家。這么多廠家應該如何選擇？哪個廠家比較好？下面小編就給大家介紹一下選購手動探針臺該注意的地方。具體如下：1、定位一定要準確：購買手動探針臺很重要的一點就是定位要準確，如果定位不準確，實驗數(shù)據(jù)就會出現(xiàn)很大偏差，得出的實驗結(jié)果自然也不符合事實依據(jù)。所以在采購這類設備的時候，需要了解設備的定位情況，只有保證準確度，才能保證實驗結(jié)果，才能避免企業(yè)花費大量時間做無用功。2、操作要簡單：雖然這種設備看起來很復雜，但是操作是不能復雜的，因為復雜的操作流程很容易導致實驗數(shù)據(jù)出現(xiàn)誤差，所以這一點大家一定要注意。只有操作簡單，才能夠讓實驗變得更加便利，誤差也能夠降到低點，這樣才更符合企業(yè)的利益。3.操作要沒有危險：現(xiàn)在人們對于避免危險意外越來越重視，所以企業(yè)在采購手動探針臺的時候，一定要提前了解操作安全，如果這一點無法保證，可能會對企業(yè)口碑造成很大影響。因為現(xiàn)在工作環(huán)境存在危險隱患，一旦被有關部門發(fā)現(xiàn)，很有可能會被要求停業(yè)整改，這樣會給企業(yè)造成非常大的損失。

探針臺應用手動探針臺廣泛應用于，科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發(fā)測試階段 ，批量不是很大的情況，大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測試測半導體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表，量測半導體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微小（納米級）的微電子器件（如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來，便于其電性測試設備（不屬于本機器）對此測試、分析。探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。

高精度探針臺例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1：OTS對正系統(tǒng)（光學目標對準）OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于TSK的度量技術。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置（QPU），達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。特性3：裝載部件令客戶滿意的測試環(huán)境，可以提供從前部開始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統(tǒng)應用做好了準備。特性4：TTG（一點即到）更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點一下，相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。超高頻測試探針臺系統(tǒng)。成都磁場探針臺

半導體設備市場中，探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設備。武漢探針臺系統(tǒng)

到手動探針臺，它的主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。它是陳本比較高的儀器，不光是要在使用時好好維護，不用時也需要好好保存。怎樣保存呢？1、儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。2、避免碰撞：在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護手動探針臺壽命。4、手動探針臺應放在穩(wěn)定可靠的臺面上，比如具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精是易燃物，使用是要注意。武漢探針臺系統(tǒng)

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