探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。雙面點(diǎn)針探針臺(tái)可用于晶圓和PCB板測(cè)試，用于需要正面和背面同時(shí)扎針，以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測(cè)試需求。安徽高低溫探針臺(tái)
探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。南昌GaAs探針臺(tái)探針臺(tái)基本配置包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等。
經(jīng)過檢測(cè)，探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以除掉，降低器材的制作本錢。半導(dǎo)體的測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié)，首要包含芯片規(guī)劃中的規(guī)劃驗(yàn)證、晶圓制作中的晶圓測(cè)臉(CP測(cè)驗(yàn))和封裝完結(jié)后的成品測(cè)驗(yàn)(FT測(cè)驗(yàn)》。半導(dǎo)體測(cè)驗(yàn)設(shè)備首要包含測(cè)機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。在一切的測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié)中都會(huì)用到測(cè)驗(yàn)機(jī)，不同環(huán)節(jié)中測(cè)驗(yàn)機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺(tái)配合使用探針臺(tái)是檢測(cè)芯片的重要設(shè)備，在芯片的規(guī)劃驗(yàn)證階段，首要作業(yè)是檢測(cè)芯片規(guī)劃的功能是否可以達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo)，在檢測(cè)過程中會(huì)對(duì)芯片樣品逐個(gè)查看，只要通過規(guī)劃驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn)。晶圓測(cè)驗(yàn)一般在晶圓廠、封測(cè)廠或?qū)ｉT的測(cè)臉代工廠進(jìn)行，首要用到的設(shè)備為測(cè)驗(yàn)機(jī)和探針臺(tái)。
桌面探針系統(tǒng)
眾所周知探針臺(tái)用于半導(dǎo)體測(cè)試，特別是6英寸或者12英寸的晶圓探針臺(tái)。因?yàn)槭艹叽缦拗?，?dǎo)致大尺寸等規(guī)格不符的待測(cè)物無法進(jìn)行測(cè)試，從而使得眾多產(chǎn)品無法得到驗(yàn)證。
對(duì)于除了半導(dǎo)體、晶圓、芯片需要測(cè)試以外，如同大尺寸電路板、高頻高速電路、射頻微波器件、高速連接器等所需測(cè)試的產(chǎn)品也是需要進(jìn)行阻抗、S參數(shù)的測(cè)試。特別是現(xiàn)在高頻高速已經(jīng)進(jìn)入了56G、112G，單波NRZ通道已經(jīng)到了56GHz的電信號(hào)的時(shí)代。所以高頻、高速等系列電路板各個(gè)通道以及載體都需要進(jìn)行產(chǎn)品的性能測(cè)試。
因此研發(fā)推出了桌面探針系統(tǒng)及各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測(cè)試。 全自動(dòng)探針臺(tái)相比普通探針臺(tái)添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。
探針臺(tái)由哪些部分組成？1.樣品臺(tái)（載物臺(tái)）載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能?？寺逯Z斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備，重復(fù)定位精度達(dá)±50納米，可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位，完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。2.光學(xué)元件這個(gè)部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測(cè)物，以便精確地將探針前列對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。3.卡盤有一個(gè)非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測(cè)物，或使用真空來吸附晶圓。探針臺(tái)如何工作？探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。 晶圓級(jí)測(cè)試自動(dòng)探針臺(tái)。重慶TFT探針臺(tái)
探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。安徽高低溫探針臺(tái)
桌面探針系統(tǒng)之射頻探針：把傳統(tǒng)探針臺(tái)的體積大、待測(cè)物規(guī)格限制等一系列缺點(diǎn)改進(jìn)。我們把探針臺(tái)的兩個(gè)探針臂直接分離出來，使用磁吸開關(guān)固定在配重塊上，裝配我們自行研發(fā)GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調(diào)射頻探針，高頻率40GHz和67GHz（質(zhì)量的阻抗控制50歐±2/100歐±2，探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍）放在水平的桌面上進(jìn)行使用、測(cè)試。可在桌面上任意活動(dòng)，根據(jù)具體測(cè)試環(huán)境調(diào)節(jié)。各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測(cè)試。安徽高低溫探針臺(tái)
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