低溫探針臺(tái)是用來(lái)無(wú)損檢測(cè)樣品的電性能,用于半導(dǎo)體、微電子、固體物理、超導(dǎo)等研究冷域,是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變?cè)诤艿偷恼婵蘸蜏囟认聦?duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置振動(dòng)隔離,智能熱管理,使用低排放的材料,先進(jìn)的密封性,使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用,如石墨烯的研究,分子電子學(xué)等的,系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理,可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動(dòng)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)有以下特點(diǎn):1、在真空探針臺(tái)下進(jìn)行完整的霍爾效應(yīng)測(cè)試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應(yīng)測(cè)試。3、變溫范圍10k-400k,采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷,不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件,可以做簡(jiǎn)單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導(dǎo)出。探針臺(tái)chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離。上海探針臺(tái)
探針臺(tái)如何工作?探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤(pán),壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。雙面點(diǎn)針探針臺(tái)商家電路板各通道及載體高頻高速測(cè)試。
桌面探針系統(tǒng)之射頻探針:把傳統(tǒng)探針臺(tái)的體積大、待測(cè)物規(guī)格限制等一系列缺點(diǎn)改進(jìn)。我們把探針臺(tái)的兩個(gè)探針臂直接分離出來(lái),使用磁吸開(kāi)關(guān)固定在配重塊上,裝配我們自行研發(fā)GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調(diào)射頻探針,高頻率40GHz和67GHz(質(zhì)量的阻抗控制50歐±2/100歐±2,探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍)放在水平的桌面上進(jìn)行使用、測(cè)試??稍谧烂嫔先我饣顒?dòng),根據(jù)具體測(cè)試環(huán)境調(diào)節(jié)。各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測(cè)試。
手動(dòng)探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)1.避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。2.儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門(mén)的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。3.儀器的存放使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械精密部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精時(shí)易燃物,注意使用安全。停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。4.工作環(huán)境探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,比較好是具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用比較好溫度范圍為5℃~40℃,比較好濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門(mén)窗盡可能關(guān)閉各鐘規(guī)格國(guó)產(chǎn)射頻探針。
無(wú)論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試,或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試,探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國(guó)所占據(jù)。近年來(lái)在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下,國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來(lái)國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中,探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。探針臺(tái)的正確配置選型。低阻測(cè)試探針臺(tái)產(chǎn)品介紹
超高頻測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)。上海探針臺(tái)
探針臺(tái)主要被應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路以及封裝的測(cè)試,主要是保證產(chǎn)品的質(zhì)量,且縮短制造成本。按照不同功能,探針臺(tái)可被分為多種類型,如LCD探針臺(tái)、高/低溫探針臺(tái)、RF探針臺(tái)。受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,探針臺(tái)應(yīng)用需求持續(xù)攀升,行業(yè)發(fā)展前景較好。半導(dǎo)體檢測(cè)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵一環(huán),在半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)結(jié)構(gòu)中,探針臺(tái)占比約為16%。在全球中,受益于智能手機(jī)、人工智能等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體需求攀升,半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模也隨之增長(zhǎng),在2021年達(dá)到76億美元。探針臺(tái)作為重要設(shè)備,受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,市場(chǎng)需求持續(xù)攀升,市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)。上海探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司目前已成為一家集產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售相結(jié)合的貿(mào)易型企業(yè)。公司成立于2013-06-03,自成立以來(lái)一直秉承自我研發(fā)與技術(shù)引進(jìn)相結(jié)合的科技發(fā)展戰(zhàn)略。公司主要產(chǎn)品有拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等,公司工程技術(shù)人員、行政管理人員、產(chǎn)品制造及售后服務(wù)人員均有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。并與上下游企業(yè)保持密切的合作關(guān)系。愛(ài)特蒙特致力于開(kāi)拓國(guó)內(nèi)市場(chǎng),與儀器儀表行業(yè)內(nèi)企業(yè)建立長(zhǎng)期穩(wěn)定的伙伴關(guān)系,公司以產(chǎn)品質(zhì)量及良好的售后服務(wù),獲得客戶及業(yè)內(nèi)的一致好評(píng)。我們本著客戶滿意的原則為客戶提供拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器產(chǎn)品售前服務(wù),為客戶提供周到的售后服務(wù)。價(jià)格低廉優(yōu)惠,服務(wù)周到,歡迎您的來(lái)電!