到手動(dòng)探針臺(tái),它的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。它是陳本比較高的儀器,不光是要在使用時(shí)好好維護(hù),不用時(shí)也需要好好保存。怎樣保存呢?1、儀器的運(yùn)輸:儀器運(yùn)輸時(shí),請(qǐng)先拔掉電源線插頭。儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門(mén)的包裝箱,避免碰到探針臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)部件。2、避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺(tái)時(shí)應(yīng)避免碰撞,機(jī)體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。3、停電或長(zhǎng)期不用、外出旅行時(shí),請(qǐng)將電源線插頭拔掉以維護(hù)手動(dòng)探針臺(tái)壽命。4、手動(dòng)探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上,比如具有防震裝置的工作臺(tái)上,避免在高溫,潮濕激烈震動(dòng),陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機(jī)械部件,光學(xué)部件,電學(xué)接觸面污染,導(dǎo)致儀器精度降低。探針臺(tái)機(jī)體清潔時(shí),避免直接潑水清理,以無(wú)塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器,以免發(fā)生故障或危險(xiǎn)。探針臺(tái)光學(xué)部件清潔時(shí),可用鏡頭紙蘸無(wú)水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無(wú)水酒精是易燃物,使用是要注意。低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)。成都 CV測(cè)試探針臺(tái)
探針臺(tái)操作步驟:1.將測(cè)試產(chǎn)品放入探針臺(tái)的臺(tái)盤(pán)上;2.打開(kāi)顯微鏡光源燈(LED或光源機(jī));3.打開(kāi)背光面板光源開(kāi)關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對(duì)焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點(diǎn)針操作步驟:1.通過(guò)移動(dòng)鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置,將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu),使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野**位置并通過(guò)調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測(cè)完畢后,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖即可移開(kāi)針Sample;移動(dòng)座平臺(tái)或者顯微鏡相關(guān)移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí),請(qǐng)注意小心避免與鏡頭或被測(cè)品碰撞9.移開(kāi)針座,取出背光面板光源和光源燈等電源.山東低阻測(cè)試探針臺(tái)如何維護(hù)和保養(yǎng)高溫探針臺(tái)呢?
探針臺(tái)應(yīng)用手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表,量測(cè)半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微?。{米級(jí))的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。
微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂,每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。2、使用場(chǎng)景多樣化微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動(dòng)行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺(tái)通過(guò)手柄控制,具有多級(jí)宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動(dòng),以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細(xì)。5、高度集成微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測(cè)量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。 探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)。
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。給大家普及一下探針臺(tái)是干什么用的。上海直流探針臺(tái)
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)的檢測(cè)標(biāo)配。成都 CV測(cè)試探針臺(tái)
高低溫探針臺(tái)優(yōu)勢(shì)1.滿足各種溫度的需求:可以滿足非常高的溫度或非常低的溫度的需求,因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,我們針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。2、體積小,穩(wěn)定性高:與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,高低溫真空探針臺(tái)的穩(wěn)定性更高,采用先進(jìn)的技術(shù)工藝,讓探針臺(tái)在工作過(guò)程中流暢性更高,平穩(wěn)性更高,從而保證每次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性,這樣實(shí)驗(yàn)得出的結(jié)果就會(huì)更加準(zhǔn)確。3、成本更低,可兼容直流跟射頻測(cè)試的運(yùn)用:與傳統(tǒng)探針臺(tái)相比,這種探針臺(tái)采用先進(jìn)的合成材料,成本方面比傳統(tǒng)探針臺(tái)更低,但是功能性都更加強(qiáng)大。成都 CV測(cè)試探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是我國(guó)拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器專業(yè)化較早的有限責(zé)任公司(自然)之一,公司成立于2013-06-03,旗下愛(ài)特蒙特,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。公司主要提供上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,服務(wù)可高,能夠滿足多方位人群或公司的需要。波銘科儀將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù),滿足國(guó)內(nèi)外廣大客戶的需求。