低溫探針臺中低電流測量的注意事項:低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識別電流泄漏的精確機制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。芯片的電參數(shù)測試用手動探針臺。PIV測試探針臺供應(yīng)
微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級尺度上進行宏觀運動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運動。2、使用場景多樣化微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運動行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺,真空室,光學(xué)試驗臺等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),為宏觀行程上進行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺通過手柄控制,具有多級宏觀調(diào)速,脈沖運動,以及位移微調(diào)功能,宏觀運動速度跨度在5um/s~2mm/s,單點脈沖步進可達300nm以下,微調(diào)運動分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細。5、高度集成微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實現(xiàn)圖像快照,尺寸測量和標注,視頻記錄等常規(guī)功能。 江蘇MOSFET探針臺探針臺搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進行測試。
手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試:當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
提到手動探針臺,大家就會對操作系統(tǒng)感興趣,因為手動與自動的非常大的區(qū)別在于需要人工干預(yù)探針臺的工作,加工工作需要靠機械和人力共同完成,這就關(guān)系到各個廠家車間加工的技術(shù)人員了,也有很多朋友非常關(guān)心探針臺的價格,擔(dān)心會因為圖便宜而影響探針臺的性能,其實,如果大家選擇了創(chuàng)譜,這些都不是問題。1、探針臺類型:例如準確測量型探針臺、綜合分析型探針臺、高低溫真空探針臺等,能夠滿足不同工作環(huán)境的需求。2、質(zhì)量非常有保證:每一臺手動探針臺都是新機,并且還能提供定制服務(wù),專門針對廠家的需求辦事,即便是手動操作也能實現(xiàn)準確加工。3、經(jīng)濟實惠:堅持為每一位客戶提供上門安裝教學(xué)的服務(wù),并且提供更加安全有保障的售后服務(wù),幫助大家在短時間內(nèi)上手,實現(xiàn)準確操作手動探針臺工作,即便是合成電路、測試設(shè)備、硬件軟件測試等等,輕而易舉解決這些細節(jié)難題!探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。
探針臺如何工作?探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。武漢射頻探針臺
先進半導(dǎo)體探針測試系統(tǒng)。PIV測試探針臺供應(yīng)
探針測試臺x-y工作臺的分類縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為**的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。PIV測試探針臺供應(yīng)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03年,在此之前我們已在拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗,深受經(jīng)銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經(jīng)傳的小公司,慢慢的適應(yīng)了市場的需求,得到了越來越多的客戶認可。公司業(yè)務(wù)不斷豐富,主要經(jīng)營的業(yè)務(wù)包括:拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等多系列產(chǎn)品和服務(wù)。可以根據(jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品,深受客戶的好評。愛特蒙特嚴格按照行業(yè)標準進行生產(chǎn)研發(fā),產(chǎn)品在按照行業(yè)標準測試完成后,通過質(zhì)檢部門檢測后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務(wù),用心服務(wù)于客戶。愛特蒙特秉承著誠信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營原則,對于員工素質(zhì)有嚴格的把控和要求,為拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務(wù)。