探針臺操作步驟：1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）;3.打開背光面板光源開關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點針操作步驟：1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置，將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過調(diào)整焦距使針尖達到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測完畢后，逆時針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機構(gòu)時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.半導(dǎo)體設(shè)備市場中，探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。武漢桌面探針臺

自動探針臺是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產(chǎn)型全自動晶圓探針臺，通過使探針卡與晶圓Pad點之間精細(xì)接觸，實現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測試，該設(shè)備操作簡單并具有良好的機械穩(wěn)定性，能為客戶提供一個具有成本優(yōu)勢且高產(chǎn)量的晶圓測試解決方案，滿足晶圓廠、封測廠、測試廠等不同客戶的測試需求。經(jīng)過不斷的技術(shù)迭代更新，A系列全自動探針臺已擁有同步國外的先進技術(shù)：低噪聲、快速移動、高產(chǎn)能、采用缺口和晶圓ID同步識別，減少了晶圓的加載時間；低重心設(shè)計，支持高針數(shù)探針卡，江蘇MOSFET探針臺OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。

探針臺的各種應(yīng)用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級可靠性，故障分析，設(shè)計驗證，和大功率。滿足先進半導(dǎo)體測試市場的要求，主要用于解決故障分析，設(shè)計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，從而保護用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護，以提供簡便的初始測量設(shè)置。

手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應(yīng)用范圍：手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。半導(dǎo)體測驗設(shè)備首要包含測機、探針臺和分選機。

桌面探針系統(tǒng)之射頻探針：把傳統(tǒng)探針臺的體積大、待測物規(guī)格限制等一系列缺點改進。我們把探針臺的兩個探針臂直接分離出來，使用磁吸開關(guān)固定在配重塊上，裝配我們自行研發(fā)GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調(diào)射頻探針，高頻率40GHz和67GHz（質(zhì)量的阻抗控制50歐±2/100歐±2，探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍）放在水平的桌面上進行使用、測試?？稍谧烂嫔先我饣顒?，根據(jù)具體測試環(huán)境調(diào)節(jié)。各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進行高頻高速的測試。先進半導(dǎo)體探針測試系統(tǒng)。micro LED探針臺系統(tǒng)

光電流測試探針臺系統(tǒng)。武漢桌面探針臺

    探針臺的工作原理1.探針臺工作原理將待測物吸附在載物臺上后推入探針臺腔體內(nèi)，利用探針座精密移動探針，通過顯微鏡的觀察，將探針與待測物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過自帶的軟件實現(xiàn)器件的參數(shù)測量和提取。結(jié)果方便保留對比查看。2.探針臺功能通過連接儀器及待測物實現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過自帶的驅(qū)動及測試軟件能夠?qū)崿F(xiàn)器件的電學(xué)特性測試，為精密器件提供一個良好的系統(tǒng)平臺，探針臺可以搭配多種測試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。3.探針臺用途探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測試，從源頭即可監(jiān)控。探針臺用于對集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數(shù)等性能測試與表征，是研究中不可缺少的基本設(shè)備。4.探針臺系統(tǒng)性能指標(biāo)可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X，Y，Z，探針臺可搭載光纖，未來可升級滿足光電測試載物臺在XY方向：±1pm分辨率、小于2μm重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動速度。 武漢桌面探針臺

上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03年，在此之前我們已在拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗，深受經(jīng)銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經(jīng)傳的小公司，慢慢的適應(yīng)了市場的需求，得到了越來越多的客戶認(rèn)可。公司業(yè)務(wù)不斷豐富，主要經(jīng)營的業(yè)務(wù)包括：拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等多系列產(chǎn)品和服務(wù)?？梢愿鶕?jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品，深受客戶的好評。愛特蒙特嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進行生產(chǎn)研發(fā)，產(chǎn)品在按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測試完成后，通過質(zhì)檢部門檢測后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務(wù)，用心服務(wù)于客戶。愛特蒙特秉承著誠信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營原則，對于員工素質(zhì)有嚴(yán)格的把控和要求，為拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務(wù)。