低溫探針臺(tái)中低電流測量的注意事項(xiàng):低電流測量(低于 1 nA)是評估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長參數(shù)或器件幾何形狀的修改會(huì)導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測測量可以成為識(shí)別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評估工具,特別是對于新材料和器件架構(gòu)。全自動(dòng)探針臺(tái)相比普通探針臺(tái)添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識(shí)別(自動(dòng)對準(zhǔn))。成都探針臺(tái)推薦廠家
微納探針臺(tái)可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂,每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。2、使用場景多樣化微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動(dòng)行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺(tái)通過手柄控制,具有多級(jí)宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動(dòng),以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細(xì)。5、高度集成微納探針臺(tái)電學(xué)測量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。 重慶探針臺(tái)產(chǎn)品介紹探針臺(tái)的探針的清洗。
M系列探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)精密,價(jià)格實(shí)惠,在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到運(yùn)用。配合對應(yīng)的儀器儀表,可以用于測試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號(hào)等。也可以放置于手套箱內(nèi),配合特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實(shí)驗(yàn)室。產(chǎn)品優(yōu)勢:探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì),大大減小了設(shè)備的占地空間具備自適應(yīng)減震系統(tǒng),一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾U型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì),不僅增大了針座的加載空間,還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力
探針測試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為**的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。探針臺(tái)規(guī)范操作步驟。
探針臺(tái)的工作原理1.探針臺(tái)工作原理將待測物吸附在載物臺(tái)上后推入探針臺(tái)腔體內(nèi),利用探針座精密移動(dòng)探針,通過顯微鏡的觀察,將探針與待測物接觸,然后將探針座上的電纜與儀表連接,通過自帶的軟件實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)測量和提取。結(jié)果方便保留對比查看。2.探針臺(tái)功能通過連接儀器及待測物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取,通過自帶的驅(qū)動(dòng)及測試軟件能夠?qū)崿F(xiàn)器件的電學(xué)特性測試,為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺(tái),探針臺(tái)可以搭配多種測試儀器使用,比如示波器,頻譜儀,IV等等。3.探針臺(tái)用途探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測試,從源頭即可監(jiān)控。探針臺(tái)用于對集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數(shù)等性能測試與表征,是研究中不可缺少的基本設(shè)備。4.探針臺(tái)系統(tǒng)性能指標(biāo)可以實(shí)現(xiàn)通過軟件對晶片載臺(tái)X,Y,Z,探針臺(tái)可搭載光纖,未來可升級(jí)滿足光電測試載物臺(tái)在XY方向:±1pm分辨率、小于2μm重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度。 探針臺(tái)是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。成都探針臺(tái)推薦廠家
探針臺(tái)搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測試。成都探針臺(tái)推薦廠家
波銘科儀CH-196高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備??梢詫?shí)現(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機(jī)制冷,可以在防輻射屏內(nèi)營造一個(gè)穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導(dǎo)體器件等研究方向具有***運(yùn)用。一般用于相關(guān)單位實(shí)驗(yàn)室。產(chǎn)品優(yōu)勢:防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)降溫速度快,常溫降至77k<25mins,提高測試效率液氮自動(dòng)控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度。成都探針臺(tái)推薦廠家
上海波銘科學(xué)儀器有限公司位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室。公司業(yè)務(wù)涵蓋拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測器等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造高質(zhì)量服務(wù)體驗(yàn),為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。