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手動(dòng)探針臺(tái)基本配置(包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等),探針臺(tái)主體-可測(cè)試晶圓尺寸:4英寸weili-樣品臺(tái)行程:100mm*100mm-移動(dòng)分辨率:~:360度-低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺(tái)顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡,LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍,物鏡,總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座,XYZ移動(dòng)范圍:12mm-移動(dòng)分辨率2um-標(biāo)配4個(gè),可裝6個(gè)-漏電設(shè)計(jì),漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出,Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計(jì)電探針,針尖探針探針直徑標(biāo)配10um,1um尺寸。 如何維護(hù)和保養(yǎng)高溫探針臺(tái)呢?SiC探針臺(tái)
提到探針臺(tái),大家應(yīng)該會(huì)一頭霧水,不知道探針臺(tái)是干什么用的,下面就讓小編來(lái)給大家普及一下探針臺(tái)是干什么用的,供大家了解,希望能對(duì)大家有所幫助。探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈希瑥亩梢耘c測(cè)試儀器、半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片、半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查。也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并準(zhǔn)確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針頂端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針頂端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。PCB探針臺(tái)規(guī)格光電流測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)。
很多人都不了解探針臺(tái),因?yàn)楹苌俳佑|到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步驟我們還是需要了解的。下面,小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對(duì)大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤,開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān),使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運(yùn)用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)整明晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中間。4、待測(cè)點(diǎn)地位確認(rèn)好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺(tái)探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)舉措要小心且遲緩,以防舉措過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許,再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針,剛開(kāi)始則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動(dòng),察看能否有少許劃痕,證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以經(jīng)過(guò)銜接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)端測(cè)試。
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精細(xì)扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺(tái)工作環(huán)境,探針臺(tái)應(yīng)放在堅(jiān)固穩(wěn)定的臺(tái)面上,如地基有震動(dòng)的情況,需要配置主動(dòng)防震裝置,避免在高溫、潮濕、激烈震動(dòng)、陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用比較好溫度范圍為5℃~40℃,比較好濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果 。使用電源:220V,50Hz極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的探針臺(tái)設(shè)備。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)配備之一,其廣泛應(yīng)用于雜亂、高速器材的ing密電氣測(cè)量,旨在保證質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)刻和器材制作工藝的本錢。探計(jì)臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)驗(yàn)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針觸模并逐人測(cè)驗(yàn)。在半導(dǎo)體器材與集成電路制作工藝中,從單晶硅棒的制取到ZU終器材制作的完結(jié)需經(jīng)過(guò)雜亂的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。GaN 探針臺(tái)配件
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠高性價(jià)比的手動(dòng)探針臺(tái)。SiC探針臺(tái)
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速露件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,電流、電陽(yáng)以及電容電壓特性線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測(cè)試等用途.激光探針臺(tái)主要檢測(cè)內(nèi)容:1、激光打標(biāo);2、表層修復(fù)線路(利用激光將兩層金屬線熔融連接);3、驅(qū)除短路點(diǎn);4、激光斷線,5、干擾芯片測(cè)試;除了以幾項(xiàng)之外激光探針臺(tái)兼?zhèn)涑R?guī)探針臺(tái)功能:1.微小連接點(diǎn)信號(hào)引出2.失效分析失效確認(rèn)3.FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn)4.晶圓可靠性驗(yàn)證SiC探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家貿(mào)易型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),是一家有限責(zé)任公司(自然)企業(yè)。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質(zhì)量的拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器。波銘科儀將以真誠(chéng)的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來(lái)!