探針臺-高低溫真空光電測試系統(tǒng)功能:用于測試半導體器件,材料,發(fā)光器件等綜合性能表征系統(tǒng),可測試參數(shù)包括:暗電流、光電流、光電壓(光伏器件)、響應(yīng)速度、光譜響應(yīng)、變光強的R~P響應(yīng)等。系統(tǒng)由光源、探針臺和光電測試三部分組成,根據(jù)用戶需求,三大部分可以進行定制化開發(fā),以實現(xiàn)不同光譜覆蓋范圍、不同測試環(huán)境和不同測試功能的實現(xiàn)。探針臺可選項: 低溫/常溫/高溫、有背柵/無背柵、光纖導入/無光纖、有磁場/無磁場、真空/非真空 等。探針臺怎么選合適的配置?MOSFET探針臺廠家供應(yīng)
無論是芯片設(shè)計的可靠性驗證測試,或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測試和CP測試,探針臺在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細定位、微米級運動以及高準確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對半導體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下,國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進程不斷加快,中國半導體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機會。在國內(nèi)半導體設(shè)備市場中,探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。微波探針臺技術(shù)改造如何維護和保養(yǎng)高溫探針臺呢?
可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結(jié)構(gòu),所有零配件均采用無磁化材料可加載高低溫,可同時進行DC和RF測試,可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試;大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴大了顯微鏡視場;兼容直流與高頻信號;可以定制,可升級性強l比較大可以測試12英寸樣品,探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離??膳浜系入x子發(fā)生器使用,可以給樣品提供超高溫和等離子氣體。
波銘科儀CH-196高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學信號的設(shè)備??梢詫崿F(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷,可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導體器件等研究方向具有***運用。一般用于相關(guān)單位實驗室。產(chǎn)品優(yōu)勢:防輻射屏和熱沉設(shè)計降溫速度快,常溫降至77k<25mins,提高測試效率液氮自動控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。超高頻測試探針臺系統(tǒng)。
很多人都不了解探針臺,因為很少接觸到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步驟我們還是需要了解的。下面,小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)整明晰,帶測點在顯微鏡視場中間。4、待測點地位確認好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的地位旁邊,再運用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此時舉措要小心且遲緩,以防舉措過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針行進少許,再運用Z軸旋鈕停止下針,剛開始則運用X軸旋鈕左右滑動,察看能否有少許劃痕,證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以經(jīng)過銜接的測試設(shè)備開端測試。探針臺規(guī)范操作步驟。MOSFET探針臺廠家供應(yīng)
探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上。MOSFET探針臺廠家供應(yīng)
高低溫探針臺優(yōu)勢1.滿足各種溫度的需求:可以滿足非常高的溫度或非常低的溫度的需求,因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導致漏電過大而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,我們針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。2、體積小,穩(wěn)定性高:與傳統(tǒng)探針臺相比,高低溫真空探針臺的穩(wěn)定性更高,采用先進的技術(shù)工藝,讓探針臺在工作過程中流暢性更高,平穩(wěn)性更高,從而保證每次實驗數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性,這樣實驗得出的結(jié)果就會更加準確。3、成本更低,可兼容直流跟射頻測試的運用:與傳統(tǒng)探針臺相比,這種探針臺采用先進的合成材料,成本方面比傳統(tǒng)探針臺更低,但是功能性都更加強大。MOSFET探針臺廠家供應(yīng)
上海波銘科學儀器有限公司成立于2013-06-03年,在此之前我們已在拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗,深受經(jīng)銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經(jīng)傳的小公司,慢慢的適應(yīng)了市場的需求,得到了越來越多的客戶認可。公司主要經(jīng)營拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器,公司與拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)內(nèi)多家研究中心、機構(gòu)保持合作關(guān)系,共同交流、探討技術(shù)更新。通過科學管理、產(chǎn)品研發(fā)來提高公司競爭力。公司會針對不同客戶的要求,不斷研發(fā)和開發(fā)適合市場需求、客戶需求的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域廣,實用性強,得到拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器客戶支持和信賴。上海波銘科學儀器有限公司依托多年來完善的服務(wù)經(jīng)驗、良好的服務(wù)隊伍、完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和強大的合作伙伴,目前已經(jīng)得到儀器儀表行業(yè)內(nèi)客戶認可和支持,并贏得長期合作伙伴的信賴。