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山東光掩膜版激光

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-06-04

由于激光微加工技術(shù)是用于透明材料的一種新的制造技術(shù),因此可以預(yù)見微加工技術(shù)應(yīng)用于意想不到的領(lǐng)域。從掌上型和可穿戴式顯示器到通信和計(jì)算系統(tǒng),光子設(shè)備現(xiàn)已遍及全球。制造光子器件必不可少的材料是透明材料,例如玻璃,聚合物和晶體,我們通常希望它們具有透明和寬帶的透明性,穩(wěn)定性以及多種成分。聚焦的超快激光脈沖會在這些透明材料中引起非線性吸收效應(yīng),從而使我們能夠在材料的表面或內(nèi)部進(jìn)行微加工。這種被稱為超快激光微加工的技術(shù)已經(jīng)有了多種應(yīng)用,例如切割、鉆孔、波導(dǎo)耦合器和分路器的直接寫入、光學(xué)動(dòng)態(tài)記憶,甚至玻璃和玻璃、玻璃和金屬或玻璃和陶瓷之間界面的焊接或接合技術(shù)。激光開封機(jī)的工作原理?山東光掩膜版激光

激光掩膜版是芯片制造過程中的圖形“底片”,用于轉(zhuǎn)移高精密電路設(shè)計(jì),承載了圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息。掩模版用于芯片的批量生產(chǎn),是下游生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分,是芯片精度和質(zhì)量的決定因素之一。

激光掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的底片。制造商通常根據(jù)客戶所需要的圖形,用光刻機(jī)在原材料上光刻出相應(yīng)的圖形,將不需要的金屬層和膠層洗去,即得到掩膜版。掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細(xì)光掩膜圖形的感光空白板。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細(xì)圖案刻制于基板上制作成掩膜版。掩膜版的作用主要體現(xiàn)為利用已設(shè)計(jì)好的圖案,通過透光與非透光方式進(jìn)行圖像(電路圖形)復(fù)制,從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。 HSL-5000激光供應(yīng)激光應(yīng)用之激光清洗;

激光鉆孔加工常見的4種方法:

3.樹脂表面的直接成孔技術(shù):具體操作方式有以下4種:a.基板是用樹脂銅箔在內(nèi)層板上壓涂,然后將銅箔全部蝕刻除去,便可用CO2激光直接在樹脂表面打孔,再繼續(xù)按鍍覆工藝進(jìn)行打孔。b.用FR-4半固化片材及銅箔代替涂樹脂銅箔的工藝方法,與用銅箔制作相類似。C.涂覆感光樹脂及后續(xù)層壓銅箔的工藝方法。d.采用干膜作為介質(zhì)層,與銅箔一起進(jìn)行壓貼工藝制備。

4.超薄銅箔直接燒蝕的工藝方法:在用樹脂銅箔兩面壓覆內(nèi)層芯板后,可以用“半腐蝕法”將銅箔厚度17m經(jīng)腐蝕減薄至5微米,再經(jīng)過黑氧化處理,即可獲得CO2激光成孔。

激光工藝:

經(jīng)過近20年的發(fā)展,目前比較成熟的工藝分為六種:Decap EMC 激光開封環(huán)氧樹脂塑模封裝Gel Removal 激光去除硅膠封裝Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光開蓋金屬陶瓷封裝Eco-Blue 激光光化學(xué)法無損晶圓開封De-layering 激光逐層剝離微加工。

激光開封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封層的工藝??商娲鷤鹘y(tǒng)的微型CNC機(jī)械磨除方法,結(jié)合GEL-BLUE工藝,可代替開封的后續(xù)滴酸工藝。

激光去除硅膠封裝,是利用遠(yuǎn)紅外激光器,汽化silicagel,結(jié)合GEL-BLUE溶液,完美除膠直達(dá)晶圓層。目前應(yīng)用的IC主要類型有LED、IGBT、以及高壓功率芯片。


激光微加工特點(diǎn)介紹;

半導(dǎo)體業(yè)的銅引線封裝越來越成為發(fā)展主流,傳統(tǒng)的化學(xué)開封已無法完全滿足銅引線封裝的開封要求。激光開封機(jī)的誕生給分析領(lǐng)域帶來了新的技術(shù)。

激光開封機(jī)特點(diǎn):

1、對銅引線封裝有很好的開封效果

2、對復(fù)雜樣品的開封極為方便

3、可重復(fù)性、一致性極高

、電腦控制開封形狀、位置、大小、時(shí)間等,操作便利

5、對環(huán)境及人體污染傷害較小,安全性高

6、幾乎沒有耗材,使用成本很低

7、體積較小,容易擺放

激光開封機(jī)是怎么操作的?開封,開蓋,開帽,指給完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來,同時(shí)保持芯片功能的完整無損,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受損傷,為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備,方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI), Decap后功能正常。 超快激光精細(xì)微加工!HSL-4000激光分類

激光開封機(jī)是怎么操作的?山東光掩膜版激光

超快激光脈沖與材料的相互作用在材料加工和微加工中有潛在的應(yīng)用。在超快光脈沖中,由于光能被限制在很短的時(shí)間內(nèi),所以可以獲得很高的峰值功率。與連續(xù)波和長脈沖激光的微加工相比,超快激光有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):創(chuàng)建微型結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)、對周圍環(huán)境沒有附帶損害、清潔的工藝外觀、小的熱影響區(qū)(HAZ)、沒有改變材料性質(zhì)、以及具有透明的材料表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)。超快激光微加工是超快激光應(yīng)用的一個(gè)快速發(fā)展的領(lǐng)域。因?yàn)榧庸み^程不依賴于激光波長的線性吸收,所以實(shí)際上任何電介質(zhì)、金屬或機(jī)械硬材料都可以通過相同的激光束進(jìn)行加工,以進(jìn)行表面燒蝕和內(nèi)部修飾。山東光掩膜版激光

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