H系列探針臺是一款配置綜合型手動測試探針臺,該系列探針臺設(shè)備配置豐富,基本可以滿足一般實(shí)驗(yàn)室的全部測試要求。其樣品臺可以360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率。并且具備三段式針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。此設(shè)備一般適用于大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠。產(chǎn)品優(yōu)勢:卡盤可360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率大手柄微分頭驅(qū)動,省時,省力,省心三段式可升降探針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的探針臺設(shè)備。高低溫探針臺廠家供應(yīng)
微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動。2、使用場景多樣化微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺,真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺通過手柄控制,具有多級宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動,以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細(xì)。5、高度集成微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。 定制探針臺按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。
探針臺如何工作?探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,***則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。光電流測試探針臺系統(tǒng)。
探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺外,晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī),測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離。武漢探針臺調(diào)試
半導(dǎo)體探測系統(tǒng)是一種成熟的工具,用于測試硅晶片,裸片和開放式微芯片上的電路和器件。高低溫探針臺廠家供應(yīng)
光電流測試探針臺系統(tǒng)是在金相顯微鏡基礎(chǔ)上導(dǎo)入另一路光源,用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下的電氣特性等測試目的。l本顯微鏡設(shè)計為雙光路或3光路,其中一路為導(dǎo)入光通路,另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光指示。l所有模塊均可拉出設(shè)計,對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響。導(dǎo)入光光路可選擇一個光時間開關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時間,精度1ms,范圍2ms~∞,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置。成像光路為同軸照明金相成像,其中一路為1倍成像,可選擇第2路成像,為物鏡的0.25~10倍率,通常在高低溫測試系統(tǒng)里會用到,同一個物鏡不切換,得到兩個不同視野的成像。高低溫探針臺廠家供應(yīng)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,各種專業(yè)設(shè)備齊全。愛特蒙特是上海波銘科學(xué)儀器有限公司的主營品牌,是專業(yè)的上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報價合理,售后無憂,值得信賴.公司,擁有自己**的技術(shù)體系。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報價合理,售后無憂,值得信賴.等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。誠實(shí)、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器。