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手動(dòng)探針臺(tái)基本配置(包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等),探針臺(tái)主體-可測(cè)試晶圓尺寸:4英寸weili-樣品臺(tái)行程:100mm*100mm-移動(dòng)分辨率:~:360度-低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺(tái)顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡,LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍,物鏡,總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座,XYZ移動(dòng)范圍:12mm-移動(dòng)分辨率2um-標(biāo)配4個(gè),可裝6個(gè)-漏電設(shè)計(jì),漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出,Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計(jì)電探針,針尖探針探針直徑標(biāo)配10um,1um尺寸。 按照操作方式來劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。MOSFET探針臺(tái)維修
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來測(cè)試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精細(xì)扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺(tái)工作環(huán)境,探針臺(tái)應(yīng)放在堅(jiān)固穩(wěn)定的臺(tái)面上,如地基有震動(dòng)的情況,需要配置主動(dòng)防震裝置,避免在高溫、潮濕、激烈震動(dòng)、陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用比較好溫度范圍為5℃~40℃,比較好濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果 。使用電源:220V,50Hzmini led探針臺(tái)廠家供應(yīng)光電流測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)。
微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂,每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。2、使用場(chǎng)景多樣化微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動(dòng)行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺(tái)通過手柄控制,具有多級(jí)宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動(dòng),以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細(xì)。5、高度集成微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測(cè)量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。半導(dǎo)體探測(cè)系統(tǒng)是一種成熟的工具,用于測(cè)試硅晶片,裸片和開放式微芯片上的電路和器件。
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為**的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。探針臺(tái)基本配置包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等。上海PIV測(cè)試探針臺(tái)
探針臺(tái)由哪些部分組成?MOSFET探針臺(tái)維修
提到手動(dòng)探針臺(tái),大家就會(huì)對(duì)操作系統(tǒng)感興趣,因?yàn)槭謩?dòng)與自動(dòng)的非常大的區(qū)別在于需要人工干預(yù)探針臺(tái)的工作,加工工作需要靠機(jī)械和人力共同完成,這就關(guān)系到各個(gè)廠家車間加工的技術(shù)人員了,也有很多朋友非常關(guān)心探針臺(tái)的價(jià)格,擔(dān)心會(huì)因?yàn)閳D便宜而影響探針臺(tái)的性能,其實(shí),如果大家選擇了創(chuàng)譜,這些都不是問題。1、探針臺(tái)類型:例如準(zhǔn)確測(cè)量型探針臺(tái)、綜合分析型探針臺(tái)、高低溫真空探針臺(tái)等,能夠滿足不同工作環(huán)境的需求。2、質(zhì)量非常有保證:每一臺(tái)手動(dòng)探針臺(tái)都是新機(jī),并且還能提供定制服務(wù),專門針對(duì)廠家的需求辦事,即便是手動(dòng)操作也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確加工。3、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠:堅(jiān)持為每一位客戶提供上門安裝教學(xué)的服務(wù),并且提供更加安全有保障的售后服務(wù),幫助大家在短時(shí)間內(nèi)上手,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確操作手動(dòng)探針臺(tái)工作,即便是合成電路、測(cè)試設(shè)備、硬件軟件測(cè)試等等,輕而易舉解決這些細(xì)節(jié)難題!MOSFET探針臺(tái)維修
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