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掩模版激光都有哪些種類?
普通版:一般使用蘇打玻璃或者石英,常見(jiàn)2寸到10寸,線寬一般在1um以上,主要用戶接觸式曝光機(jī),轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸為1:1,實(shí)現(xiàn)同比例的圖形轉(zhuǎn)移。
Stepper版:一般使用石英版,常見(jiàn)為5寸和6寸版,線寬一般在500nm以上,主要用于Stepper曝光機(jī)臺(tái),轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸實(shí)際比例一般是4:1或者5:1,實(shí)現(xiàn)將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。
納米壓印版:一般用石英版,刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合,尺寸一般需要5寸及以上,采用電子束直寫(xiě)的技術(shù)實(shí)現(xiàn)表面nm圖形的轉(zhuǎn)移,一般線寬在200~800nm左右,借助掩模版對(duì)光刻膠的壓力、同時(shí)輔助紫外曝光,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形的轉(zhuǎn)移。
金屬掩模版:一把采用不銹鋼,在不銹鋼表面通過(guò)激光加工的方式,實(shí)現(xiàn)表面鏤空的圖形設(shè)計(jì),線寬一般要20um,能夠用于電子束蒸發(fā)、磁控濺射中,用于電極圖形的轉(zhuǎn)移。 激光應(yīng)用之激光清洗;浙江激光種類
激光打標(biāo)機(jī)常見(jiàn)的五種故障分析:
3.激光打標(biāo)機(jī)的標(biāo)識(shí)薄膜粘版產(chǎn)生原因:熱壓溫度高于降解溫度,涂料黏性加大就會(huì)造成粘版而使薄膜纏繞在全息壓印輥上。解決方法:降低熱壓溫度。
4.激光打標(biāo)機(jī)的標(biāo)識(shí)圖案暗淡無(wú)光解決方法:檢查加熱溫度是否太低,模壓壓力是否下降。工藝控制要點(diǎn):模壓壓力的設(shè)定應(yīng)綜合考慮模壓溫度、全息材料的種類或涂料層軟化點(diǎn)模壓版的情況等。壓力過(guò)高,模壓版易損壞或?qū)⑷⒉牧蠅簤?;壓力過(guò)低,模壓圖像不清楚、不完整;對(duì)于圓壓圓方式,兩邊壓力輥的初始?jí)毫σ话阍?.08MPa左右;模壓開(kāi)始后慢慢將壓力輥的壓力均勻加大至030~0.50MPa。模壓速度可根據(jù)壓印質(zhì)量機(jī)器性能等綜合調(diào)節(jié)。
5.激光打標(biāo)機(jī)的標(biāo)識(shí)圖案一塊清楚一塊模糊產(chǎn)生原因:熱壓裝置的溫度分布不均勻或者模壓版不平整。 安徽Ezlaze激光超快激光可用于微加工多種材料;
激光鉆孔加工常見(jiàn)的4種方法1.開(kāi)銅窗法:先將RCC(涂上樹(shù)脂的銅箔層)復(fù)壓于內(nèi)層板上,用光化方法制作窗口,然后用蝕刻露出樹(shù)脂,再用激光燒除窗口內(nèi)基材材料形成微盲孔。2.開(kāi)大窗法:將銅窗直徑增大到0.05mm左右,比底墊還大(通常根據(jù)孔徑大小確定),當(dāng)孔徑為0.15mm時(shí),底墊直徑應(yīng)在0.25mm左右,其大窗口直徑為0.30mm。然后進(jìn)行激光照射,即可燒出微盲孔,這樣位置準(zhǔn)確,可用于制作精確的銅窗底墊。它的主要特點(diǎn)是選擇自由度大,進(jìn)行激光照射時(shí)可選擇另按內(nèi)層底墊的程序打孔。這種方法有效地避免了由于銅窗直徑與孔徑相同所引起的偏置,從而使激光點(diǎn)不能對(duì)準(zhǔn)正窗口,從而導(dǎo)致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或殘孔。
半導(dǎo)體激光器失效機(jī)理與案例分析:
半導(dǎo)體激光器失效模式主要表現(xiàn)為工作期間無(wú)輸出光強(qiáng),或在恒定驅(qū)動(dòng)電流下輸出光功率退化失效,當(dāng)輸出功率退化至特定閾值,就會(huì)導(dǎo)致激光器失效??煽啃匝芯糠治鲋行氖菄?guó)內(nèi)專業(yè)從事電子元器件和各種電子產(chǎn)品失效分析技術(shù)研究和技術(shù)服務(wù)的機(jī)構(gòu)。在對(duì)半導(dǎo)體激光器開(kāi)展的失效分析工作中,經(jīng)總結(jié),半導(dǎo)體激光器的主要失效機(jī)理包括電極退化、歐姆接觸、腔面退化、環(huán)境污染等因素。
失效機(jī)理介紹及相關(guān)案例如下文所示。
1)電極退化電極退化通常發(fā)生在金屬與半導(dǎo)體材料的交界面,由于焊料材料擴(kuò)散進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)部形成缺陷結(jié)構(gòu),大電流作用下導(dǎo)致缺陷位置熱量積累,**終燒毀附近的金屬化層[2]。 激光應(yīng)用之激光打標(biāo);
微納加工-激光掩模版的作用:
光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實(shí)現(xiàn)對(duì)光線的遮擋或透過(guò)功能,是微電子光刻工藝中的一個(gè)工具或者板材。我們利用光罩可以實(shí)現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫(xiě)技術(shù);其二為電子束直寫(xiě)部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實(shí)現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計(jì)圖形,光線透過(guò)它,把設(shè)計(jì)圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。我們可以通過(guò)把圖形做在掩模版上通過(guò)下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有對(duì)應(yīng)的相關(guān)圖形了,但是通過(guò)曝光基底上還沒(méi)有刻上圖形,只是光刻膠有了相關(guān)圖形。光刻膠的是一種對(duì)光敏感的材料,通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化。有可能會(huì)變?nèi)菀兹芙庖部赡茏兊貌蝗菀祝@時(shí)候再通過(guò)顯影液,不穩(wěn)定的部分將會(huì)被處理掉,剩下的就是我們想要的圖形。 激光光掩膜主要分基板和不透光材料兩個(gè)部分;HSL-5500激光
在芯片制造中,光刻類似于膠片相機(jī)中利用底片進(jìn)行洗制照片的過(guò)程。浙江激光種類
常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光光譜:以激光為光源的光譜技術(shù)。與普通光源相比,激光光源具有單色性好、亮度高、方向性強(qiáng)和相干性強(qiáng)等特點(diǎn),是用來(lái)研究光與物質(zhì)的相互作用,從而辨認(rèn)物質(zhì)及其所在體系的結(jié)構(gòu)、組成、狀態(tài)及其變化的理想光源。激光的出現(xiàn)使原有的光譜技術(shù)在靈敏度和分辨率方面得到很大的改善。由于已能獲得強(qiáng)度極高、脈沖寬度極窄的激光,對(duì)多光子過(guò)程、非線性光化學(xué)過(guò)程以及分子被激發(fā)后的弛豫過(guò)程的觀察成為可能,并分別發(fā)展成為新的光譜技術(shù)。激光光譜學(xué)已成為與物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)及材料科學(xué)等密切相關(guān)的研究領(lǐng)域。浙江激光種類
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