探針臺主要被應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路以及封裝的測試，主要是保證產(chǎn)品的質(zhì)量，且縮短制造成本。按照不同功能，探針臺可被分為多種類型，如LCD探針臺、高/低溫探針臺、RF探針臺。受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，探針臺應(yīng)用需求持續(xù)攀升，行業(yè)發(fā)展前景較好。半導(dǎo)體檢測是半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵一環(huán)，在半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)中，探針臺占比約為16%。在全球中，受益于智能手機、人工智能等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體需求攀升，半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)模也隨之增長，在2021年達到76億美元。探針臺作為重要設(shè)備，受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，市場需求持續(xù)攀升，市場規(guī)模持續(xù)增長。全自動探針臺相比普通探針臺添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。SiC探針臺

探針臺的探針的清洗，1、毛刷清潔法：適用范圍為5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙，撕成細長條的形狀，撕成細長的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡**視顯微鏡即可，放大倍數(shù)太高無法操作)，利用撕下的紙片作為毛刷，輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法：適用范圍是所有探針，灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙，裁成樣品臺大小(或適當(dāng)?shù)某叽?，固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法：適用范圍是所有探針，清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(nèi)(燒杯大小以適合用戶操作為宜)，并放到超聲波清洗機內(nèi)。打開超聲波清洗機，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內(nèi)，讓震動把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針放到適當(dāng)?shù)奈恢昧栏珊蠹纯墒褂谩Ｕ堊⒁?，若清潔微波探針，須將探針放置整晚晾干。FINFET探針臺升級定制探針臺具有優(yōu)良的機械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項升級功能。

    RF/mmW超高頻測試探針臺系統(tǒng)可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試l大行程高精度探針座，X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動，擴大了顯微鏡視場l兼容直流與高頻信號l可以定制，可升級性強lFA(失效分析)**激光探針臺系統(tǒng)失效分析實驗室**（芯片去層/線路或Pad切割與熔接電性能測試驗證）l激光鐳射波長1064/532/355nm可選擇性去除特定材料、而不損傷下層或基底l材料/器件（尤其是射頻特征芯片）的IV/PIV/CV電性測試和失效分析。l**小切割線寬：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盤，采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品l可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰，便于更換物鏡，帶自動鎖定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以無級調(diào)節(jié)）。

探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺如何來工作呢？

探針臺的各種應(yīng)用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級可靠性，故障分析，設(shè)計驗證，和大功率。滿足先進半導(dǎo)體測試市場的要求，主要用于解決故障分析，設(shè)計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，從而保護用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護，以提供簡便的初始測量設(shè)置。晶圓級測試自動探針臺。武漢磁場探針臺

芯片的電參數(shù)測試用手動探針臺。SiC探針臺

無論是芯片設(shè)計的可靠性驗證測試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測試和CP測試，探針臺在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細定位、微米級運動以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進程不斷加快，中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機會。在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場中，探針臺是我國目前能實現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。SiC探針臺

上海波銘科學(xué)儀器有限公司是我國拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器專業(yè)化較早的有限責(zé)任公司（自然）之一，公司位于望園南路1288弄80號1904、1909室，成立于2013-06-03，迄今已經(jīng)成長為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。波銘科儀致力于構(gòu)建儀器儀表自主創(chuàng)新的競爭力，多年來，已經(jīng)為我國儀器儀表行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟等的發(fā)展做出了重要貢獻。