掩模版激光都有哪些種類?
普通版:一般使用蘇打玻璃或者石英,常見2寸到10寸,線寬一般在1um以上,主要用戶接觸式曝光機(jī),轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸為1:1,實現(xiàn)同比例的圖形轉(zhuǎn)移。
Stepper版:一般使用石英版,常見為5寸和6寸版,線寬一般在500nm以上,主要用于Stepper曝光機(jī)臺,轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸實際比例一般是4:1或者5:1,實現(xiàn)將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。
納米壓印版:一般用石英版,刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合,尺寸一般需要5寸及以上,采用電子束直寫的技術(shù)實現(xiàn)表面nm圖形的轉(zhuǎn)移,一般線寬在200~800nm左右,借助掩模版對光刻膠的壓力、同時輔助紫外曝光,實現(xiàn)納米級圖形的轉(zhuǎn)移。
金屬掩模版:一把采用不銹鋼,在不銹鋼表面通過激光加工的方式,實現(xiàn)表面鏤空的圖形設(shè)計,線寬一般要20um,能夠用于電子束蒸發(fā)、磁控濺射中,用于電極圖形的轉(zhuǎn)移。 激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計算機(jī)齊名的四項重大發(fā)明之一。芯片激光器
超快激光可用于微加工多種材料:金屬、聚合物、半導(dǎo)體、透明材料等。然而,材料的性質(zhì),尤其是光學(xué)和熱學(xué)性質(zhì),需要選擇合適的激光參數(shù)進(jìn)行修改。要在材料上進(jìn)行超快激光微加工,必須選擇合適的激光操作參數(shù),例如:激光波長、重復(fù)率、激光功率、掃描通量、脈沖持續(xù)時間、偏振、束斑尺寸和質(zhì)量。
超快激光脈沖微加工的一個明顯特征是透明材料的內(nèi)部微加工。當(dāng)近紅外超快激光脈沖聚焦在玻璃體內(nèi)時,焦點體積中的強(qiáng)度變得足夠高以引起非線性吸收,這導(dǎo)致焦點體積中玻璃的局部改變 江蘇激光磨片超快激光脈沖微加工的明顯特征是透明材料的內(nèi)部微加工。
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光光譜:以激光為光源的光譜技術(shù)。與普通光源相比,激光光源具有單色性好、亮度高、方向性強(qiáng)和相干性強(qiáng)等特點,是用來研究光與物質(zhì)的相互作用,從而辨認(rèn)物質(zhì)及其所在體系的結(jié)構(gòu)、組成、狀態(tài)及其變化的理想光源。激光的出現(xiàn)使原有的光譜技術(shù)在靈敏度和分辨率方面得到很大的改善。由于已能獲得強(qiáng)度極高、脈沖寬度極窄的激光,對多光子過程、非線性光化學(xué)過程以及分子被激發(fā)后的弛豫過程的觀察成為可能,并分別發(fā)展成為新的光譜技術(shù)。激光光譜學(xué)已成為與物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)及材料科學(xué)等密切相關(guān)的研究領(lǐng)域。
激光光掩膜主要分兩個組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同?;逋ǔJ歉呒兌?,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。不同種類光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過濺射方法鍍在玻璃下方厚約 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應(yīng)用于芯片制造。激光開封機(jī)是怎么操作的?
在芯片制造中,光刻是至關(guān)重要的一個環(huán)節(jié),這是將設(shè)計好的芯片版圖轉(zhuǎn)移到晶圓上的過程,類似于膠片相機(jī)中的膠卷曝光后,利用底片進(jìn)行洗制照片的過程。一個底片可以洗出來很多照片,一樣的道理,通過芯片版圖,就是要復(fù)制出來很多芯片,只是這個過程要比洗相片復(fù)雜繁瑣太多。芯片版圖,也稱為光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是決定芯片造價成本的關(guān)鍵,一般來說,一個芯片生產(chǎn)線,所需要的大致設(shè)備、材料都是類似的,只是隨著芯片制程工藝的不斷提升,所需要的設(shè)備精密度越高,而材料純度也是越高,這些都會導(dǎo)致生產(chǎn)成本的不斷提升,不過,上升快的則是光刻掩膜版所帶來的成本。掩模版用于芯片的批量生產(chǎn);芯片激光器
光刻掩模版的加工技術(shù);芯片激光器
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光光源:如,用半導(dǎo)體激光合成白光光源。
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光通信:激光大氣通信的發(fā)送設(shè)備主要由激光器(光源)、光調(diào)制器、光學(xué)發(fā)射天線(透鏡)等組成;接收設(shè)備主要由光學(xué)接收天線、光檢測器等組成。
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光筆:是把可見激光設(shè)計成便攜、易握的筆型發(fā)射器。常見有紅光(650-660nm, 635nm)、綠光(515-520nm, 532nm)、藍(lán)光(445-450nm)和藍(lán)紫光(405nm)等,功率常以毫瓦為單位。會報、教學(xué)、導(dǎo)賞人員會使用它投映出光點或光線指向物體,不可對人,尤其需注意人眼防護(hù)。 芯片激光器
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家從事拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后的貿(mào)易型企業(yè)。公司坐落在望園南路1288弄80號1904、1909室,成立于2013-06-03。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。公司主要經(jīng)營拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等產(chǎn)品,產(chǎn)品質(zhì)量可靠,均通過儀器儀表行業(yè)檢測,嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國30多個省、市、自治區(qū)。上海波銘科學(xué)儀器有限公司每年將部分收入投入到拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器產(chǎn)品開發(fā)工作中,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產(chǎn)運(yùn)營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進(jìn)等。上海波銘科學(xué)儀器有限公司以市場為導(dǎo)向,以創(chuàng)新為動力。不斷提升管理水平及拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器產(chǎn)品質(zhì)量。本公司以良好的商品品質(zhì)、誠信的經(jīng)營理念期待您的到來!