探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺外，晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī)，測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能，探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接，通過探針臺和測試機(jī)的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺chuck具備升降功能，便于樣品和探針的快速分離。上海探針臺技術(shù)改造

探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)相對于平面電機(jī)工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。GaN 探針臺供應(yīng)極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的探針臺設(shè)備。

    探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時去點(diǎn)測？6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測到的電流的量級）。

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。探針臺與顯示器一體化設(shè)計。

低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能，用于半導(dǎo)體、微電子、固體物理、超導(dǎo)等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內(nèi)置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進(jìn)的密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理，可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。低溫探針臺集成系統(tǒng)有以下特點(diǎn)：1、在真空探針臺下進(jìn)行完整的霍爾效應(yīng)測試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應(yīng)測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導(dǎo)出。探針臺搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測試。桌面探針臺產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體設(shè)備市場中，探針臺是我國目前能實(shí)現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。上海探針臺技術(shù)改造

很多人都不了解探針臺，因為很少接觸到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步驟我們還是需要了解的。下面，小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運(yùn)用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)整明晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中間。4、待測點(diǎn)地位確認(rèn)好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測點(diǎn),此時舉措要小心且遲緩，以防舉措過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許，再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針，剛開始則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動，察看能否有少許劃痕，證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以經(jīng)過銜接的測試設(shè)備開端測試。上海探針臺技術(shù)改造

上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家從事拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后的貿(mào)易型企業(yè)。公司坐落在望園南路1288弄80號1904、1909室，成立于2013-06-03。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念，以客戶滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。主要經(jīng)營拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等產(chǎn)品服務(wù)，現(xiàn)在公司擁有一支經(jīng)驗豐富的研發(fā)設(shè)計團(tuán)隊，對于產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)要求極為嚴(yán)格，完全按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)和生產(chǎn)。愛特蒙特為用戶提供真誠、貼心的售前、售后服務(wù)，產(chǎn)品價格實(shí)惠。公司秉承為社會做貢獻(xiàn)、為用戶做服務(wù)的經(jīng)營理念，致力向社會和用戶提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。上海波銘科學(xué)儀器有限公司嚴(yán)格規(guī)范拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊，分工明細(xì)，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。