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浙江激光升級(jí)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-23

超快激光可用于微加工多種材料:金屬、聚合物、半導(dǎo)體、透明材料等。然而,材料的性質(zhì),尤其是光學(xué)和熱學(xué)性質(zhì),需要選擇合適的激光參數(shù)進(jìn)行修改。要在材料上進(jìn)行超快激光微加工,必須選擇合適的激光操作參數(shù),例如:激光波長(zhǎng)、重復(fù)率、激光功率、掃描通量、脈沖持續(xù)時(shí)間、偏振、束斑尺寸和質(zhì)量。

超快激光脈沖微加工的一個(gè)明顯特征是透明材料的內(nèi)部微加工。當(dāng)近紅外超快激光脈沖聚焦在玻璃體內(nèi)時(shí),焦點(diǎn)體積中的強(qiáng)度變得足夠高以引起非線(xiàn)性吸收,這導(dǎo)致焦點(diǎn)體積中玻璃的局部改變 超快激光脈沖與材料的相互作用在材料加工和微加工中有潛在的應(yīng)用。浙江激光升級(jí)

激光工藝:

經(jīng)過(guò)近20年的發(fā)展,目前比較成熟的工藝分為六種:Decap EMC 激光開(kāi)封環(huán)氧樹(shù)脂塑模封裝Gel Removal 激光去除硅膠封裝Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光開(kāi)蓋金屬陶瓷封裝Eco-Blue 激光光化學(xué)法無(wú)損晶圓開(kāi)封De-layering 激光逐層剝離微加工。

激光開(kāi)封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封層的工藝??商娲鷤鹘y(tǒng)的微型CNC機(jī)械磨除方法,結(jié)合GEL-BLUE工藝,可代替開(kāi)封的后續(xù)滴酸工藝。

激光去除硅膠封裝,是利用遠(yuǎn)紅外激光器,汽化silicagel,結(jié)合GEL-BLUE溶液,完美除膠直達(dá)晶圓層。目前應(yīng)用的IC主要類(lèi)型有LED、IGBT、以及高壓功率芯片。


HOYA激光種類(lèi)微納加工-激光掩模版的作用;

激光工藝:

激光剖面芯片,替代傳統(tǒng)費(fèi)時(shí)費(fèi)力的冷熱制模固定,人工研磨方法。激光可剖面BGA焊球、玻纖PCB板、開(kāi)封后裸露的晶圓(配合PICOEYE顯微視覺(jué),切縫寬度可控制低至5微米)。

激光開(kāi)蓋,主要針對(duì)陶瓷、可伐、鋁合金等金屬封裝。超快激光在時(shí)間維度聚焦,配合輔助工藝能確保無(wú)污染無(wú)殘留開(kāi)蓋。

Eco-Blue激光光化學(xué)法無(wú)損開(kāi)封,利用激光聚焦活化ECO-BLUE溶解液,破壞塑封交聯(lián)結(jié)構(gòu)并溶解,無(wú)損晶圓層,應(yīng)用于晶圓級(jí)失效機(jī)理分析,替代危險(xiǎn)的強(qiáng)酸腐蝕工藝。

激光逐層剝離微加工,利用高穩(wěn)定及均勻分布的激光能量,逐層去除PI隔離層、RDL金屬路線(xiàn)重布層,多層晶圓。主要IC類(lèi)型有陀螺儀、傳感器、硅通孔IC等。

激光光掩膜主要分兩個(gè)組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。不同種類(lèi)光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過(guò)濺射方法鍍?cè)诓A路胶窦s 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應(yīng)用于芯片制造。激光鉆孔加工技術(shù)方法;

常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光冷卻:利用激光和原子的相互作用減速原子運(yùn)動(dòng)以獲得低溫原子的高新技術(shù)。這一重要技術(shù)早期主要目的是為了精確測(cè)量各種原子參數(shù),用于高分辨率激光光譜和超高精度的量子頻標(biāo)(原子鐘),后來(lái)成為實(shí)現(xiàn)原子玻色-愛(ài)因斯坦凝聚的關(guān)鍵實(shí)驗(yàn)方法。激光冷卻有許多應(yīng)用,如:原子光學(xué)、原子刻蝕、原子鐘、光學(xué)晶格、光鑷子、玻色-愛(ài)因斯坦凝聚、原子激光、高分辨率光譜及光和物質(zhì)的相互作用的基礎(chǔ)研究等。

1997年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)被授予朱棣文、克勞德·科恩·塔努吉和威廉·D·菲利普斯,以表彰他們利用激光冷卻和捕獲原子的方法。 激光微加工工藝有哪些;山東FA100S激光

不同掩模版的不透光材料有所不同。浙江激光升級(jí)

半導(dǎo)體激光器失效機(jī)理與案例分析:

半導(dǎo)體激光器失效模式主要表現(xiàn)為工作期間無(wú)輸出光強(qiáng),或在恒定驅(qū)動(dòng)電流下輸出光功率退化失效,當(dāng)輸出功率退化至特定閾值,就會(huì)導(dǎo)致激光器失效。可靠性研究分析中心是國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)從事電子元器件和各種電子產(chǎn)品失效分析技術(shù)研究和技術(shù)服務(wù)的機(jī)構(gòu)。在對(duì)半導(dǎo)體激光器開(kāi)展的失效分析工作中,經(jīng)總結(jié),半導(dǎo)體激光器的主要失效機(jī)理包括電極退化、歐姆接觸、腔面退化、環(huán)境污染等因素。

失效機(jī)理介紹及相關(guān)案例如下文所示。

1)電極退化電極退化通常發(fā)生在金屬與半導(dǎo)體材料的交界面,由于焊料材料擴(kuò)散進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)部形成缺陷結(jié)構(gòu),大電流作用下導(dǎo)致缺陷位置熱量積累,**終燒毀附近的金屬化層[2]。 浙江激光升級(jí)

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