探針臺應用手動探針臺廣泛應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發(fā)測試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設計。重慶探針臺排行榜
探針臺怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型:1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件?2、探針臺機械精度要求多高?3、點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡比較大倍率200倍)5、需要幾根探針同時去點測?6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具)7、漏電精度需要達到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀夾具:100FA,同軸彈簧夾具:10PA(漏電精度:要求能測到的電流的量級)。 山東 fA級漏電探針臺探針臺的維護和保養(yǎng)。
低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能,用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域,是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離,智能熱管理,使用低排放的材料,先進的密封性,使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應用,如石墨烯的研究,分子電子學等的,系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機和專有的熱管理,可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業(yè)標準。超穩(wěn)定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統(tǒng)有以下特點:1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k,采用閉循環(huán)制冷機制冷,不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件,可以做簡單的系統(tǒng)操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。
可提供單維磁場,多維磁場探針臺,磁場強度,精度和間隙均可客制化l高剛性結構,所有零配件均采用無磁化材料可加載高低溫,可同時進行DC和RF測試,可配合市場主流擴頻模塊進行超高頻測試;大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制l顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內移動,擴大了顯微鏡視場;兼容直流與高頻信號;可以定制,可升級性強l比較大可以測試12英寸樣品,探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離??膳浜系入x子發(fā)生器使用,可以給樣品提供超高溫和等離子氣體。探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。
探針臺的分類探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要**少的培訓,易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點,非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。探針臺chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離。上海雙面點針探針臺
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手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,***則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。重慶探針臺排行榜
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