微納加工-激光掩模版的作用:
光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實現(xiàn)對光線的遮擋或透過功能,是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。我們利用光罩可以實現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫技術(shù);其二為電子束直寫部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計圖形,光線透過它,把設(shè)計圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機的“底片”。我們可以通過把圖形做在掩模版上通過下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有對應(yīng)的相關(guān)圖形了,但是通過曝光基底上還沒有刻上圖形,只是光刻膠有了相關(guān)圖形。光刻膠的是一種對光敏感的材料,通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化。有可能會變?nèi)菀兹芙庖部赡茏兊貌蝗菀?,這時候再通過顯影液,不穩(wěn)定的部分將會被處理掉,剩下的就是我們想要的圖形。 激光應(yīng)用之激光成型;安徽激光器
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光雷達(dá):激光雷達(dá)用激光器作為輻射源,是激光技術(shù)與雷達(dá)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物 。由發(fā)射機 、天線 、接收機 、跟蹤架及信息處理等部分組成。發(fā)射機是各種形式的激光器,如二氧化碳激光器、摻釹釔鋁石榴石激光器、半導(dǎo)體激光器及波長可調(diào)諧的固體激光器等;天線是光學(xué)望遠(yuǎn)鏡;接收機采用各種形式的光電探測器,如光電倍增管、半導(dǎo)體光電二極管、雪崩光電二極管、紅外和可見光多元探測器件等。激光雷達(dá)采用脈沖或連續(xù)波2種工作方式,探測方法分直接探測與外差探測。 HSL-4000激光系統(tǒng)激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計算機齊名的四項重大發(fā)明之一。
激光機常見故障以及解決方法:六、電腦不能輸出1、檢查軟件參數(shù)設(shè)置是否正常(重新設(shè)置);2、雕刻機是否先按定位起動再輸出(重新輸出);3、檢查機器是否事先沒復(fù)位(重新更正);4、檢查輸出串口是否與軟件設(shè)置串口一致(重新設(shè)置);5、檢查地線是否可靠,靜電是否干擾數(shù)據(jù)線(重新接地);6、更換電腦串口輸出測試;7、重新安裝軟件并重新設(shè)置測試;8、格式化電腦系統(tǒng)盤重新安裝軟件測試;9、主板串口損壞需維修或更換。七、電腦常見問題1、字體逐漸減少(重新安裝操作系統(tǒng));2、數(shù)據(jù)量太大不能計算激光路徑(等待一段時間或加大電腦內(nèi)存);3、計算路徑長時間沒響應(yīng),重新啟動電腦測試
掩模版激光都有哪些種類?
普通版:一般使用蘇打玻璃或者石英,常見2寸到10寸,線寬一般在1um以上,主要用戶接觸式曝光機,轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸為1:1,實現(xiàn)同比例的圖形轉(zhuǎn)移。
Stepper版:一般使用石英版,常見為5寸和6寸版,線寬一般在500nm以上,主要用于Stepper曝光機臺,轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸實際比例一般是4:1或者5:1,實現(xiàn)將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。
納米壓印版:一般用石英版,刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合,尺寸一般需要5寸及以上,采用電子束直寫的技術(shù)實現(xiàn)表面nm圖形的轉(zhuǎn)移,一般線寬在200~800nm左右,借助掩模版對光刻膠的壓力、同時輔助紫外曝光,實現(xiàn)納米級圖形的轉(zhuǎn)移。
金屬掩模版:一把采用不銹鋼,在不銹鋼表面通過激光加工的方式,實現(xiàn)表面鏤空的圖形設(shè)計,線寬一般要20um,能夠用于電子束蒸發(fā)、磁控濺射中,用于電極圖形的轉(zhuǎn)移。 激光應(yīng)用之激光雕刻;
日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界認(rèn)同等級修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列無論在設(shè)計,制造上HOYA采用比較先進的光學(xué)技術(shù)HOYA光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶徹底追求加工穩(wěn)定度的較好品質(zhì)小型YAG激光系統(tǒng)HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光學(xué)技術(shù)活用于設(shè)計、制造上,創(chuàng)造出比較好可多段多變功率輸出且高穩(wěn)定性的激光裝置。能同時實現(xiàn)微細(xì)加工與高輸出能量的大面積加工之激光系統(tǒng)從比較小0.5μm到比較大300μm,對半導(dǎo)體及FPD金屬薄膜的微細(xì)加工到ColorFilter的大面積加工都可以對應(yīng)。另外,比較大頻率可到50Hz,也可用在各種應(yīng)用層面上。保養(yǎng)及維修的特性燈泡容易替換微納加工-激光掩模版的作用;OLED激光故障分析
激光開封機主要應(yīng)用有哪些呢?安徽激光器
激光鉆孔加工常見的4種方法1.開銅窗法:先將RCC(涂上樹脂的銅箔層)復(fù)壓于內(nèi)層板上,用光化方法制作窗口,然后用蝕刻露出樹脂,再用激光燒除窗口內(nèi)基材材料形成微盲孔。2.開大窗法:將銅窗直徑增大到0.05mm左右,比底墊還大(通常根據(jù)孔徑大小確定),當(dāng)孔徑為0.15mm時,底墊直徑應(yīng)在0.25mm左右,其大窗口直徑為0.30mm。然后進行激光照射,即可燒出微盲孔,這樣位置準(zhǔn)確,可用于制作精確的銅窗底墊。它的主要特點是選擇自由度大,進行激光照射時可選擇另按內(nèi)層底墊的程序打孔。這種方法有效地避免了由于銅窗直徑與孔徑相同所引起的偏置,從而使激光點不能對準(zhǔn)正窗口,從而導(dǎo)致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或殘孔。安徽激光器
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家集生產(chǎn)科研、加工、銷售為一體的****,公司成立于2013-06-03,位于望園南路1288弄80號1904、1909室。公司誠實守信,真誠為客戶提供服務(wù)。公司主要經(jīng)營拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器,公司與拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)內(nèi)多家研究中心、機構(gòu)保持合作關(guān)系,共同交流、探討技術(shù)更新。通過科學(xué)管理、產(chǎn)品研發(fā)來提高公司競爭力。公司與行業(yè)上下游之間建立了長久親密的合作關(guān)系,確保拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器在技術(shù)上與行業(yè)內(nèi)保持同步。產(chǎn)品質(zhì)量按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進行研發(fā)生產(chǎn),絕不因價格而放棄質(zhì)量和聲譽。在市場競爭日趨激烈的現(xiàn)在,我們承諾保證拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器質(zhì)量和服務(wù),再創(chuàng)佳績是我們一直的追求,我們真誠的為客戶提供真誠的服務(wù),歡迎各位新老客戶來我公司參觀指導(dǎo)。