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每臺風(fēng)機出風(fēng)面至少1點平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機進風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度...
(1)在靜態(tài)條件下潔凈室(區(qū))監(jiān)測的懸浮粒子數(shù)、浮游菌數(shù)或沉降菌數(shù)必須符合規(guī)定。測試方法應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法》GB/T16292、《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))浮游菌的測試方法》GB/T16293和《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))沉降菌的測...
潔凈室因其用途、氣流流型的不同,可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室,通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈...
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對...
風(fēng)量或風(fēng)速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細菌濃度...
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭...
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%...
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個名詞是不貼切的,國外某些標準和文章也指出這一點,例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號中注明為...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列...
3.壓差檢測:潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進行測量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進入潔凈室。4.氣流速度檢測:潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能...
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對...
14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備,應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良...
B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量??墒褂门溆辛髁坑嫷娘L(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏...
②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基...
每臺風(fēng)機出風(fēng)面至少1點平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機進風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度...
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量??諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒...
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類...
潔凈室是指空氣潔凈度達到規(guī)定標準的特定場所,廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、制藥、食品加工等領(lǐng)域。在潔凈室中,空氣中的微粒和微生物數(shù)量受到嚴格控制,以確保生產(chǎn)環(huán)境符合相關(guān)標準。因此,定期對潔凈室進行檢測至關(guān)重要。潔凈室檢測主要包括塵埃粒子計數(shù)器、浮游菌采樣器、沉降菌采樣器等儀...
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并...
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,必須檢測:2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣...
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,必須檢測:2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣...
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)...
每臺風(fēng)機出風(fēng)面至少1點平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機進風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度...
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%...
B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量??墒褂门溆辛髁坑嫷娘L(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏...
D.3.2靜壓差測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應(yīng)按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾...
(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更...
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計應(yīng)符...
B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量??墒褂门溆辛髁坑嫷娘L(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏...
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準,隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個...