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B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同,不同點(diǎn)只有一處,由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù),因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無(wú)要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣;計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過(guò)1m;離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上,采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍,使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應(yīng)保留一個(gè)低于5μm(見(jiàn)GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應(yīng)超過(guò)所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理,把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去,用潔凈氣流置換污染氣流??谡稚a(chǎn)車(chē)間環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶,而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí),靜電荷開(kāi)始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。山東口罩生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境檢測(cè)服務(wù)至上使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以精確測(cè)量空氣中的微粒濃度。
D.3.2靜壓差測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從**里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1um(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得潔凈室檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)的任何問(wèn)題都應(yīng)立即記錄并跟蹤處理。
五、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無(wú)菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無(wú)菌車(chē)間(即“百級(jí)”車(chē)間)。該車(chē)間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無(wú)塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來(lái)滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬(wàn)級(jí)”或“十萬(wàn)級(jí)”無(wú)菌車(chē)間進(jìn)行組裝與測(cè)試。這些車(chē)間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。潔凈室(區(qū))的日常運(yùn)行和維護(hù)管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。湖北生物安全柜檢測(cè)哪家好
壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果??谡稚a(chǎn)車(chē)間環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施。2存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜,潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi)。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門(mén)。6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室??谡稚a(chǎn)車(chē)間環(huán)境檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)