潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。驗證生物潔凈室的步驟主要分為三個部分:1、驗證安裝;2、驗證操作;3、驗證性能。實驗室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風(fēng)速、開發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。湖北潔凈工作臺檢測哪家好空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通??諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低。
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標(biāo)區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器(CNC)的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時,經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響,以決定是否采取被動隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時,可按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。
單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?,國外的一些?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進流。在流體力學(xué)中,這種流動狀態(tài)也可以稱為平行流動或單向流動。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測價格
工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。實驗室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。實驗室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)