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碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料。碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等,因?yàn)榻麕挾却笥?.2eV統(tǒng)稱為寬禁帶半導(dǎo)體材料,在國(guó)內(nèi)也稱為第三代半導(dǎo)體材料。在半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)從材料端分為: 一代元素半導(dǎo)體材料:如硅(Si)和鍺(Ge); 第二代化合物半導(dǎo)體材料:如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等; 第三代寬禁帶材料:如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等。其中碳化硅和氮化鎵是目前商業(yè)前景較明朗的半導(dǎo)體材料,堪稱半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)內(nèi)新一代“黃金賽道”。碳化硅可以稱為金鋼砂或耐火砂。黃浦區(qū)碳化硅廠家定制
碳化硅可以抵受的電壓或電場(chǎng)八倍于硅或砷化鎵, 特別適用于制造高壓大功率器件如高壓二極管、功率三極管、可控硅以及大功率微波器件. 另外, 此一特性可讓碳化硅器件緊密排列, 有利于提高封裝密度。碳化硅是熱的良導(dǎo)體, 導(dǎo)熱特性優(yōu)于任何其它半導(dǎo)體材料。事實(shí)上, 在室溫條件下, 其熱傳導(dǎo)率高于任何其它金屬,這使得碳化硅器件可在高溫下正常工作。為采用SiC SBDs的小功率EV 車載逆變器散熱片體積和采用傳統(tǒng)Si基半導(dǎo)體器件散熱片體積的對(duì)比,可看出,采用SiCSBDs 器件散熱片的體積有效減小。對(duì)于主流的大功率HEV,一般包含兩套水冷系統(tǒng),一套是引擎冷卻系統(tǒng),冷卻溫度約105℃,另一套是電力電子設(shè)備的冷卻系統(tǒng),冷卻溫度約為70℃。 普陀區(qū)碳化硅公司有哪些要制成碳化硅微粉還要經(jīng)過(guò)水選過(guò)程,要做成碳化硅制品還要經(jīng)過(guò)成型與結(jié)燒的過(guò)程。
目前碳化硅的拋光方法主要有:機(jī)械拋光、磁流變拋光、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)、電化學(xué)拋光(ECMP)、催化劑輔助拋光或催化輔助刻蝕(CACP/CARE)、摩擦化學(xué)拋光(TCP,又稱無(wú)磨料拋光)和等離子輔助拋光(***)等。化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)是目前半導(dǎo)體加工的重要手段,也是目前能將單晶硅表面加工到原子級(jí)光滑較有效的工藝方法,是能在加工過(guò)程中同時(shí)實(shí)現(xiàn)局部和全局平坦化的實(shí)用技術(shù)。CMP的加工效率主要由工件表面的化學(xué)反應(yīng)速率決定。通過(guò)研究工藝參數(shù)對(duì)SiC材料拋光速率的影響,結(jié)果表明:旋轉(zhuǎn)速率和拋光壓力的影響較大;溫度和拋光液pH值的影響不大。為提高材料的拋光速率應(yīng)盡量提高轉(zhuǎn)速,雖然增加拋光壓力也可提高去除速率,但容易損壞拋光墊。
碳化硅由于化學(xué)性能穩(wěn)定、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好,除作磨料用外,還有很多其他用途,例如:以特殊工藝把碳化硅粉末涂布于水輪機(jī)葉輪或汽缸體的內(nèi)壁,可提高其耐磨性而延長(zhǎng)使用壽命1~2倍;用以制成的高級(jí)耐火材料,耐熱震、體積小、重量輕而強(qiáng)度高,節(jié)能效果好。低品級(jí)碳化硅(含SiC約85%)是極好的脫氧劑,用它可加快煉鋼速度,并便于控制化學(xué)成分,提高鋼的質(zhì)量。此外,碳化硅還大量用于制作電熱元件硅碳棒。碳化硅的硬度很大,莫氏硬度為9.5級(jí),只次于世界上較硬的金剛石(10級(jí)),具有優(yōu)良的導(dǎo)熱性能,是一種半導(dǎo)體,高溫時(shí)能抗氧化。通常將未反應(yīng)料和一部分氧碳化硅層料作為乏料收集,將氧碳化硅層的另一部分料與無(wú)定形物。
隨著電動(dòng)汽車以及其他系統(tǒng)的增長(zhǎng),碳化硅(SiC)功率半導(dǎo)體市場(chǎng)正在經(jīng)歷需求的突然激增。這便是SiC的用武之地?;诘墸℅aN)的功率半導(dǎo)體也正在出現(xiàn)。GaN和SiC都是寬帶隙技術(shù)。硅的帶隙為1.1 eV。 相比之下,SiC的帶隙為3.3 eV,GaN的帶隙為3.4 eV。SiC是一種基于硅和碳的復(fù)合半導(dǎo)體材料。在生產(chǎn)流程中,專門的SiC襯底被開發(fā)出來(lái),然后在晶圓廠中進(jìn)行加工,得到基于SiC的功率半導(dǎo)體。許多基于SiC的功率半導(dǎo)體和競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)都是專門用晶體管,它們可以在高電壓下開關(guān)器件的電流。它們用于電力電子領(lǐng)域,可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)中電力的轉(zhuǎn)換和控制。 由于其高熱導(dǎo)性、高崩潰電場(chǎng)強(qiáng)度及高較大電流密度。崇明區(qū)碳化硅價(jià)格怎么樣
綠碳化硅含SiC約97%以上,自銳性好、鈦合金和光學(xué)玻璃,用于珩磨汽缸套和精磨高速鋼刀具。黃浦區(qū)碳化硅廠家定制
碳化硅、氮化鎵的市場(chǎng)潛力還遠(yuǎn)未被全部挖掘:5G、智慧交通、新能源已經(jīng)成為全球發(fā)展的方向,但作為上游材料的氮化鎵、碳化硅的市場(chǎng)潛力其實(shí)還遠(yuǎn)未被全部挖掘。因?yàn)槿绻麖漠a(chǎn)業(yè)鏈中游來(lái)看,我國(guó)第三代半導(dǎo)體器件市場(chǎng)有著巨大的增長(zhǎng)空間,或能成為倒逼上游材料發(fā)展的一大動(dòng)力。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至今經(jīng)歷了三個(gè)階段,一代半導(dǎo)體材料以硅為反映;第二代半導(dǎo)體材料砷化鎵也已經(jīng)普遍應(yīng)用;而以氮化鎵和碳化硅、氧化鋅、氧化鋁、金剛石等寬禁帶為反映的第三代半導(dǎo)體材料,相較前兩代產(chǎn)品性能優(yōu)勢(shì)顯著。 黃浦區(qū)碳化硅廠家定制
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