無論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測(cè)試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測(cè)試和CP測(cè)試，探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺(tái)市場(chǎng)仍主要被美、日、韓等國(guó)所占據(jù)。近年來在國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì)。毫米波探針臺(tái)調(diào)試

手動(dòng)探針臺(tái)基本配置（包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等），探針臺(tái)主體-可測(cè)試晶圓尺寸：4英寸weili-樣品臺(tái)行程：100mm*100mm-移動(dòng)分辨率：~：360度-低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺(tái)顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡，LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍，物鏡，總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座，XYZ移動(dòng)范圍：12mm-移動(dòng)分辨率2um-標(biāo)配4個(gè)，可裝6個(gè)-漏電設(shè)計(jì)，漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計(jì)電探針，針尖探針探針直徑標(biāo)配10um，1um尺寸。 浙江定制探針臺(tái)探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

M系列探針臺(tái)是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)精密，價(jià)格實(shí)惠，在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到運(yùn)用。配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表，可以用于測(cè)試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號(hào)等。也可以放置于手套箱內(nèi)，配合特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實(shí)驗(yàn)室。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：探針臺(tái)與顯示器一體化設(shè)計(jì)，大大減小了設(shè)備的占地空間具備自適應(yīng)減震系統(tǒng)，一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾U型平臺(tái)鍍鎳設(shè)計(jì)，不僅增大了針座的加載空間，還提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力

    探針臺(tái)的工作原理1.探針臺(tái)工作原理將待測(cè)物吸附在載物臺(tái)上后推入探針臺(tái)腔體內(nèi)，利用探針座精密移動(dòng)探針，通過顯微鏡的觀察，將探針與待測(cè)物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過自帶的軟件實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)測(cè)量和提取。結(jié)果方便保留對(duì)比查看。2.探針臺(tái)功能通過連接儀器及待測(cè)物實(shí)現(xiàn)器件的參數(shù)提取，通過自帶的驅(qū)動(dòng)及測(cè)試軟件能夠?qū)崿F(xiàn)器件的電學(xué)特性測(cè)試，為精密器件提供一個(gè)良好的系統(tǒng)平臺(tái)，探針臺(tái)可以搭配多種測(cè)試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。3.探針臺(tái)用途探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。芯片制造結(jié)束后即可在線測(cè)試，從源頭即可監(jiān)控。探針臺(tái)用于對(duì)集成電路、三極管、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征，是研究中不可缺少的基本設(shè)備。4.探針臺(tái)系統(tǒng)性能指標(biāo)可以實(shí)現(xiàn)通過軟件對(duì)晶片載臺(tái)X，Y，Z，探針臺(tái)可搭載光纖，未來可升級(jí)滿足光電測(cè)試載物臺(tái)在XY方向：±1pm分辨率、小于2μm重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度。 了解探針臺(tái)的使用步驟。

低溫探針臺(tái)中低電流測(cè)量的注意事項(xiàng)：低電流測(cè)量（低于 1 nA）是評(píng)估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下，器件材料、生長(zhǎng)參數(shù)或器件幾何形狀的修改會(huì)導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場(chǎng)分布造成的，并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性，因此低溫探測(cè)測(cè)量可以成為識(shí)別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評(píng)估工具，特別是對(duì)于新材料和器件架構(gòu)。光電流測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)。FINFET探針臺(tái)供應(yīng)

半導(dǎo)體測(cè)驗(yàn)設(shè)備首要包含測(cè)機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。毫米波探針臺(tái)調(diào)試

H系列探針臺(tái)是一款配置綜合型手動(dòng)測(cè)試探針臺(tái),該系列探針臺(tái)設(shè)備配置豐富，基本可以滿足一般實(shí)驗(yàn)室的全部測(cè)試要求。其樣品臺(tái)可以360度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率。并且具備三段式針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。此設(shè)備一般適用于大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：卡盤可360度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率大手柄微分頭驅(qū)動(dòng)，省時(shí)，省力，省心三段式可升降探針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離毫米波探針臺(tái)調(diào)試

上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家貿(mào)易型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù)，是一家有限責(zé)任公司（自然）企業(yè)。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則，致力于提供高質(zhì)量的拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器。波銘科儀將以真誠(chéng)的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品，為彼此贏得全新的未來！