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激光光掩膜主要分兩個(gè)組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高純度,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。不同種類光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過(guò)濺射方法鍍?cè)诓A路胶窦s 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應(yīng)用于芯片制造。激光應(yīng)用之激光打標(biāo);成都激光按需定制
光刻掩膜版質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響光刻的質(zhì)量。在芯片制造過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)十幾甚至幾十次的光刻,每次光刻都需要一塊光刻掩膜版,每塊光刻掩膜版的質(zhì)量都會(huì)影響光刻的質(zhì)量。光刻過(guò)程中,通常通過(guò)一系列光學(xué)系統(tǒng),將掩膜版上的圖形按照 4:1 的比例投影在晶圓上的光刻膠涂層上。由于在制作過(guò)程中存在一定的設(shè)備或工藝局限,光掩膜上的圖形并不可能與設(shè)計(jì)圖像完全一致,即在后續(xù)的硅片制造過(guò)程中,掩膜板上的制造缺陷和誤差也會(huì)伴隨著光刻工藝被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品質(zhì)將直接影響到芯片的良率和穩(wěn)定性。
安徽激光調(diào)試超快激光微加工是超快激光應(yīng)用;
半導(dǎo)體激光器失效機(jī)理與案例分析:
半導(dǎo)體激光器失效模式主要表現(xiàn)為工作期間無(wú)輸出光強(qiáng),或在恒定驅(qū)動(dòng)電流下輸出光功率退化失效,當(dāng)輸出功率退化至特定閾值,就會(huì)導(dǎo)致激光器失效??煽啃匝芯糠治鲋行氖菄?guó)內(nèi)專業(yè)從事電子元器件和各種電子產(chǎn)品失效分析技術(shù)研究和技術(shù)服務(wù)的機(jī)構(gòu)。在對(duì)半導(dǎo)體激光器開(kāi)展的失效分析工作中,經(jīng)總結(jié),半導(dǎo)體激光器的主要失效機(jī)理包括電極退化、歐姆接觸、腔面退化、環(huán)境污染等因素。
失效機(jī)理介紹及相關(guān)案例如下文所示。
1)電極退化電極退化通常發(fā)生在金屬與半導(dǎo)體材料的交界面,由于焊料材料擴(kuò)散進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)部形成缺陷結(jié)構(gòu),大電流作用下導(dǎo)致缺陷位置熱量積累,**終燒毀附近的金屬化層[2]。
常見(jiàn)、有代表性的激光應(yīng)用之激光熱處理:也稱激光淬火,是一種表面改性工藝,用于增強(qiáng)部件的耐磨性或延長(zhǎng)其壽命,從家用工具到汽車制造部件及重工業(yè)和運(yùn)輸領(lǐng)域的工裝,均在適用范圍內(nèi),尤其汽車工業(yè)中應(yīng)用普遍,如缸套、曲軸、活塞環(huán)、換向器、齒輪等零部件的熱處理,同時(shí)在航空航天、機(jī)床行業(yè)和其它機(jī)械行業(yè)也應(yīng)用范圍廣。激光淬火常用于鋼和鑄鐵材料。激光器通過(guò)受控的局部加熱使金屬部件上的目標(biāo)區(qū)域發(fā)生固態(tài)相變,同時(shí)保證基材的冶金性能。吸收取決于材料類型、碳含量、微結(jié)構(gòu)、表面條件、尺寸和幾何形狀,通常限于在表面層,淬火深度0.2–2.0 mm??刹捎霉馐纹骷刂萍訜釁^(qū)域。光掩膜的品質(zhì)將直接影響到芯片的良率和穩(wěn)定性。
超快激光可用于微加工多種材料:金屬、聚合物、半導(dǎo)體、透明材料等。需選擇合適的激光參數(shù)進(jìn)行修改。
激光微加工系統(tǒng)用于力學(xué)、工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。
激光微加工系統(tǒng)的技術(shù)指標(biāo):測(cè)量范圍徑向3.0m,球測(cè)試精度±0.046mm、錐測(cè)試精度±0.052mm,激光掃描距離89~184mm、掃描精度0.05mm。
激光微加工系統(tǒng)的主要功能:該設(shè)備不僅具有精度測(cè)量、形位誤差分析功能,而且具有激光掃描,生成被掃描件的三維點(diǎn)云造型功能。
掩模版用于芯片的批量生產(chǎn);HSL-5500激光打標(biāo)
激光開(kāi)封機(jī)的使用環(huán)境;成都激光按需定制
揭秘0.1mm激光鉆孔:
隨著電子產(chǎn)品的不斷升級(jí),企業(yè)對(duì)PCB工藝的要求越來(lái)越高,而且由于結(jié)構(gòu)空間原因,希望PCB的體積越小越好,這又進(jìn)一步對(duì)工藝發(fā)展提出了新要求。因此,PCB工藝正變得越來(lái)越復(fù)雜,鉆孔就是其中一道難題。
一、0.1mm的鉆孔,為什么做不了?很多工程師看到板廠的工藝能力寫(xiě)著小孔0.1mm時(shí),便把PCB設(shè)計(jì)中的孔改到0.1mm,以解決線路布局空間不足的問(wèn)題。但當(dāng)他們把設(shè)計(jì)文件發(fā)給板廠打板時(shí),卻收到板廠反饋這孔做不了!怎么回事呢?其實(shí)這里有個(gè)誤區(qū)——不是所有的板都能做0.1mm的鉆孔。0.1mm是很小的孔,采用機(jī)械鉆的時(shí)候,容易斷刀,目前比較小的機(jī)械鉆是0.15mm,低于0.15mm的孔需要采用激光鉆。但激光鉆孔有個(gè)前提條件,就是板子的介質(zhì)厚度只能是0.127mm以內(nèi),大于這個(gè)厚度就無(wú)法激穿。因此,板子之所以不能做0.1mm的孔,不是因?yàn)榘鍙S做不了,是因?yàn)樵O(shè)計(jì)的板子太厚了。 成都激光按需定制
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是我國(guó)拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器專業(yè)化較早的有限責(zé)任公司(自然)之一,公司始建于2013-06-03,在全國(guó)各個(gè)地區(qū)建立了良好的商貿(mào)渠道和技術(shù)協(xié)作關(guān)系。公司承擔(dān)并建設(shè)完成儀器儀表多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目,取得了明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進(jìn)全國(guó)儀器儀表產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的發(fā)展。