手動(dòng)探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過(guò)兩根探針以及吸片盤(pán)夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍：手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。三段式針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。micro LED探針臺(tái)調(diào)試

探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。江蘇探針臺(tái)加裝探針臺(tái)是半導(dǎo)體、晶圓、集成電路中重要的檢測(cè)設(shè)備。

探針臺(tái)操作步驟：1.將測(cè)試產(chǎn)品放入探針臺(tái)的臺(tái)盤(pán)上;2.打開(kāi)顯微鏡光源燈（LED或光源機(jī)）;3.打開(kāi)背光面板光源開(kāi)關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對(duì)焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點(diǎn)針操作步驟：1.通過(guò)移動(dòng)鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置，將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機(jī)構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過(guò)調(diào)整焦距使針尖達(dá)到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測(cè)完畢后，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機(jī)構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開(kāi)針Sample;移動(dòng)座平臺(tái)或者顯微鏡相關(guān)移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，請(qǐng)注意小心避免與鏡頭或被測(cè)品碰撞9.移開(kāi)針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.

探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯，這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。芯片的電參數(shù)測(cè)試用手動(dòng)探針臺(tái)。

自動(dòng)探針臺(tái)是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產(chǎn)型全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)，通過(guò)使探針卡與晶圓Pad點(diǎn)之間精細(xì)接觸，實(shí)現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測(cè)試，該設(shè)備操作簡(jiǎn)單并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性，能為客戶提供一個(gè)具有成本優(yōu)勢(shì)且高產(chǎn)量的晶圓測(cè)試解決方案，滿足晶圓廠、封測(cè)廠、測(cè)試廠等不同客戶的測(cè)試需求。經(jīng)過(guò)不斷的技術(shù)迭代更新，A系列全自動(dòng)探針臺(tái)已擁有同步國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)：低噪聲、快速移動(dòng)、高產(chǎn)能、采用缺口和晶圓ID同步識(shí)別，減少了晶圓的加載時(shí)間；低重心設(shè)計(jì)，支持高針數(shù)探針卡，高低溫真空探針測(cè)試系統(tǒng)。江蘇探針臺(tái)加裝

雙面點(diǎn)針探針臺(tái)可用于晶圓和PCB板測(cè)試，用于需要正面和背面同時(shí)扎針，以實(shí)現(xiàn)各種光/電性能測(cè)試需求。micro LED探針臺(tái)調(diào)試

探針臺(tái)的各種應(yīng)用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級(jí)可靠性，故障分析，設(shè)計(jì)驗(yàn)證，和大功率。滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)的要求，主要用于解決故障分析，設(shè)計(jì)驗(yàn)證，IC工程，晶圓級(jí)可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測(cè)試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測(cè)量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測(cè)量。帶互鎖功能的安全光幕可通過(guò)互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護(hù)，以提供簡(jiǎn)便的初始測(cè)量設(shè)置。micro LED探針臺(tái)調(diào)試

上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03，同時(shí)啟動(dòng)了以愛(ài)特蒙特為主的拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器產(chǎn)業(yè)布局。旗下愛(ài)特蒙特在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位，品牌價(jià)值持續(xù)增長(zhǎng)，有望成為行業(yè)中的佼佼者。同時(shí)，企業(yè)針對(duì)用戶，在拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等幾大領(lǐng)域，提供更多、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品，進(jìn)一步為全國(guó)更多單位和企業(yè)提供更具針對(duì)性的儀器儀表服務(wù)。公司坐落于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室，業(yè)務(wù)覆蓋于全國(guó)多個(gè)省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收，進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。