微納加工-激光掩模版的作用:
光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實現(xiàn)對光線的遮擋或透過功能,是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。我們利用光罩可以實現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫技術(shù);其二為電子束直寫部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計圖形,光線透過它,把設(shè)計圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機的“底片”。我們可以通過把圖形做在掩模版上通過下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有對應的相關(guān)圖形了,但是通過曝光基底上還沒有刻上圖形,只是光刻膠有了相關(guān)圖形。光刻膠的是一種對光敏感的材料,通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化。有可能會變?nèi)菀兹芙庖部赡茏兊貌蝗菀祝@時候再通過顯影液,不穩(wěn)定的部分將會被處理掉,剩下的就是我們想要的圖形。 超快激光脈沖微加工的明顯特征是透明材料的內(nèi)部微加工。浙江激光供應商家
在芯片制造中,光刻是至關(guān)重要的一個環(huán)節(jié),這是將設(shè)計好的芯片版圖轉(zhuǎn)移到晶圓上的過程,類似于膠片相機中的膠卷曝光后,利用底片進行洗制照片的過程。一個底片可以洗出來很多照片,一樣的道理,通過芯片版圖,就是要復制出來很多芯片,只是這個過程要比洗相片復雜繁瑣太多。芯片版圖,也稱為光刻掩膜版,或者是光罩、掩膜版,是決定芯片造價成本的關(guān)鍵,一般來說,一個芯片生產(chǎn)線,所需要的大致設(shè)備、材料都是類似的,只是隨著芯片制程工藝的不斷提升,所需要的設(shè)備精密度越高,而材料純度也是越高,這些都會導致生產(chǎn)成本的不斷提升,不過,上升快的則是光刻掩膜版所帶來的成本。武漢激光打標激光微加工形成方式;
日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界認同等級修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列無論在設(shè)計,制造上HOYA采用比較先進的光學技術(shù)HOYA光學技術(shù)的結(jié)晶徹底追求加工穩(wěn)定度的較好品質(zhì)小型YAG激光系統(tǒng)HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光學技術(shù)活用于設(shè)計、制造上,創(chuàng)造出比較好可多段多變功率輸出且高穩(wěn)定性的激光裝置。能同時實現(xiàn)微細加工與高輸出能量的大面積加工之激光系統(tǒng)從比較小0.5μm到比較大300μm,對半導體及FPD金屬薄膜的微細加工到ColorFilter的大面積加工都可以對應。另外,比較大頻率可到50Hz,也可用在各種應用層面上。保養(yǎng)及維修的特性燈泡容易替換
常見、有代表性的激光應用之激光熱處理:也稱激光淬火,是一種表面改性工藝,用于增強部件的耐磨性或延長其壽命,從家用工具到汽車制造部件及重工業(yè)和運輸領(lǐng)域的工裝,均在適用范圍內(nèi),尤其汽車工業(yè)中應用普遍,如缸套、曲軸、活塞環(huán)、換向器、齒輪等零部件的熱處理,同時在航空航天、機床行業(yè)和其它機械行業(yè)也應用范圍廣。激光淬火常用于鋼和鑄鐵材料。激光器通過受控的局部加熱使金屬部件上的目標區(qū)域發(fā)生固態(tài)相變,同時保證基材的冶金性能。吸收取決于材料類型、碳含量、微結(jié)構(gòu)、表面條件、尺寸和幾何形狀,通常限于在表面層,淬火深度0.2–2.0 mm。可采用光束整形器件控制加熱區(qū)域。PCB板0.1mm激光鉆孔;
激光鉆孔加工常見的4種方法:
3.樹脂表面的直接成孔技術(shù):具體操作方式有以下4種:a.基板是用樹脂銅箔在內(nèi)層板上壓涂,然后將銅箔全部蝕刻除去,便可用CO2激光直接在樹脂表面打孔,再繼續(xù)按鍍覆工藝進行打孔。b.用FR-4半固化片材及銅箔代替涂樹脂銅箔的工藝方法,與用銅箔制作相類似。C.涂覆感光樹脂及后續(xù)層壓銅箔的工藝方法。d.采用干膜作為介質(zhì)層,與銅箔一起進行壓貼工藝制備。
4.超薄銅箔直接燒蝕的工藝方法:在用樹脂銅箔兩面壓覆內(nèi)層芯板后,可以用“半腐蝕法”將銅箔厚度17m經(jīng)腐蝕減薄至5微米,再經(jīng)過黑氧化處理,即可獲得CO2激光成孔。 掩模版激光都有哪些種類?激光排行榜
超快激光微加工的技術(shù)應用;浙江激光供應商家
超快激光可用于微加工多種材料:金屬、聚合物、半導體、透明材料等。需選擇合適的激光參數(shù)進行修改。
激光微加工系統(tǒng)用于力學、工程與技術(shù)科學基礎(chǔ)學科領(lǐng)域的工藝試驗儀器。
激光微加工系統(tǒng)的技術(shù)指標:測量范圍徑向3.0m,球測試精度±0.046mm、錐測試精度±0.052mm,激光掃描距離89~184mm、掃描精度0.05mm。
激光微加工系統(tǒng)的主要功能:該設(shè)備不僅具有精度測量、形位誤差分析功能,而且具有激光掃描,生成被掃描件的三維點云造型功能。
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上海波銘科學儀器有限公司坐落在望園南路1288弄80號1904、1909室,是一家專業(yè)的上海波銘科學儀器有限公司是一家實力的光學儀器生產(chǎn)廠家,同時也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應分析儀等科研光學儀器.并且提供光學機械,電子測量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報價合理,售后無憂,值得信賴.公司。目前我公司在職員工以90后為主,是一個有活力有能力有創(chuàng)新精神的團隊。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨,深受客戶好評。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),我們相信誠實正直、開拓進取地為公司發(fā)展做正確的事情,將為公司和個人帶來共同的利益和進步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業(yè)出名企業(yè)。