探針臺是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)重要的檢測配備之一，其廣泛應(yīng)用于雜亂、高速器材的ing密電氣測量，旨在保證質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時刻和器材制作工藝的本錢。探計臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測驗環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針觸模并逐人測驗。在半導(dǎo)體器材與集成電路制作工藝中，從單晶硅棒的制取到ZU終器材制作的完結(jié)需經(jīng)過雜亂的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。探針臺的正確配置選型。南昌探針臺配件

無論是芯片設(shè)計的可靠性驗證測試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT測試和CP測試，探針臺在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精細(xì)定位、微米級運(yùn)動以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機(jī)會。在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場中，探針臺是我國目前能實(shí)現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。大功率測試探針臺產(chǎn)品介紹探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。

桌面探針系統(tǒng)

眾所周知探針臺用于半導(dǎo)體測試，特別是6英寸或者12英寸的晶圓探針臺。因為受尺寸限制，導(dǎo)致大尺寸等規(guī)格不符的待測物無法進(jìn)行測試，從而使得眾多產(chǎn)品無法得到驗證。

對于除了半導(dǎo)體、晶圓、芯片需要測試以外，如同大尺寸電路板、高頻高速電路、射頻微波器件、高速連接器等所需測試的產(chǎn)品也是需要進(jìn)行阻抗、S參數(shù)的測試。特別是現(xiàn)在高頻高速已經(jīng)進(jìn)入了56G、112G，單波NRZ通道已經(jīng)到了56GHz的電信號的時代。所以高頻、高速等系列電路板各個通道以及載體都需要進(jìn)行產(chǎn)品的性能測試。

因此研發(fā)推出了桌面探針系統(tǒng)及各規(guī)格探針配合67GHz網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行高頻高速的測試。

探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。2022年探針臺市場規(guī)模達(dá)到16億美元。

探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置，就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進(jìn)行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產(chǎn)率。按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。PCB探針臺規(guī)格尺寸

探針臺采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計。南昌探針臺配件

探針臺的分類探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要**少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試?？梢?4小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴。南昌探針臺配件

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