廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-30

通過氮?dú)庵脫Q可將氧含量控制在≤100ppm，選配高精度氣體純化系統(tǒng)可低至≤10ppm。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐采用雙門互鎖和迷宮式密封結(jié)構(gòu)，減少外界空氣滲入，確保低氧環(huán)境穩(wěn)定性。

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