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模塊式氦氣檢測機(jī)氦檢模塊

來源: 發(fā)布時間:2023-02-11

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作??赡苁乔凹墘毫^高(分子泵啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后,如果燈絲仍不能發(fā)射離子流,則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍,請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路,請更換燈絲。如果沒有,請檢查端子是否與其他連接器連接,以消除短路。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施。模塊式氦氣檢測機(jī)氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序:從被檢件物體的上方至下方,由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時,應(yīng)先把一個點(diǎn)蓋住,再對另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時,如果,檢漏儀上的顯示有變化,其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。移動式氦氣檢測儀費(fèi)用氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

氦檢儀開機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī),可等一會兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法:1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定,反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,本底訊號為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時,由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后,停止送氦,其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速,質(zhì)譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理:1、內(nèi)部的泄漏,當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定,1)本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),降低環(huán)境本底。2)本底信號過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時,質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護(hù)。無損氦檢儀廠家

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?模塊式氦氣檢測機(jī)氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。模塊式氦氣檢測機(jī)氦檢模塊

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