氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測(cè)量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器。小型氦檢儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。國(guó)產(chǎn)氦氣檢測(cè)機(jī)注意事項(xiàng)氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的因素：1、受到檢測(cè)壓力的影響，泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的增高，還會(huì)帶來諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為它的測(cè)試壓力。2、受到檢測(cè)容積的影響，在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測(cè)容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測(cè)量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測(cè)量容積，那么可能會(huì)無法達(dá)到測(cè)量需要的精確度和靈敏度。

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇要進(jìn)行多家的貨物進(jìn)行對(duì)比，將不同品牌的樣品放一起對(duì)比，這樣氦質(zhì)譜檢漏儀儀質(zhì)量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質(zhì)量，建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程，同時(shí)并索要樣品驗(yàn)貨，在安裝完后，可以要求商家在再測(cè)試一遍。保持氦質(zhì)譜檢漏儀的干燥，嚴(yán)禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴(yán)禁在高溫的環(huán)境中使用氦質(zhì)譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會(huì)長(zhǎng)久性的損壞傳感器。請(qǐng)參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍領(lǐng)域也不相同，例如工業(yè)用的氦質(zhì)譜檢漏儀，需符合國(guó)家各項(xiàng)安全標(biāo)準(zhǔn)，使用起來也更復(fù)雜。氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。國(guó)產(chǎn)氦檢設(shè)備品牌

在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；小型氦檢儀廠家

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些？氦檢儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面：第1，氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得普遍的氦檢儀器。小型氦檢儀廠家

上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司公司是一家專門從事氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售，是一家生產(chǎn)型企業(yè)，公司成立于2020-06-11，位于上海市嘉定區(qū)徐行鎮(zhèn)新建一路2255號(hào)1幢104。多年來為國(guó)內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持。公司主要經(jīng)營(yíng)氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀等產(chǎn)品，產(chǎn)品質(zhì)量可靠，均通過儀器儀表行業(yè)檢測(cè)，嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國(guó)30多個(gè)省、市、自治區(qū)。上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司每年將部分收入投入到氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產(chǎn)品開發(fā)工作中，也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動(dòng)作用。公司在長(zhǎng)期的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)中形成了一套完善的科技激勵(lì)政策，以激勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進(jìn)等。上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司嚴(yán)格規(guī)范氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產(chǎn)品管理流程，確保公司產(chǎn)品質(zhì)量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，分工明細(xì)，服務(wù)貼心，為廣大用戶提供滿意的服務(wù)。