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國產(chǎn)氦檢儀工作原理

來源: 發(fā)布時間:2022-09-22

氦檢儀在壓力容器中的常用方法:噴氦法,噴氦法是常用,比較方便的檢漏方法。檢漏時,用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣,如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置,則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升,氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標準漏率值是定在多少,超過標準漏率值的可視為不合格。氦罩法,這種方法使用一個檢漏罩(塑料薄膜等)把被檢容器包起來,先排除罩內(nèi)空氣,然后充入氦氣或氦氣的混合氣體,氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接,當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時,說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率。總漏率為各個分漏率之和;總漏率不超標準值,則各個分漏率也不超標準值;總漏率超過標準值,則檢查各個點的分漏率是否超過標準值。然后再對超過標準值的漏孔進行修補,直至達到合格標準為止。氦檢儀自動化程度高;國產(chǎn)氦檢儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。智能氦檢設(shè)備注意事項氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關(guān)鍵部件均為進口,性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。

氦檢儀的型號較多,但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室:不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異,都是由離子源、分析器和收集器三部分組成,它們放在一個抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1)離子源。離子源的作用是使氣體分子電離,形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰極)、離化室及離子加速極組成。2)分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運動,從而將它們彼此分開,只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成,磁場方向與離子束入射方向垂直。3)收集極。收集極是對準出口電極狹縫安裝的,其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個電阻輸入到小電流放大器進行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A,要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大,則輸入電阻必需很大(一般高于1010歐),第1級放大用的靜電計管必須要高度絕緣,所以把高阻及靜電計管放在高真空的質(zhì)譜室中。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。

氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:(1)便攜式:較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度。智能氦檢設(shè)備注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。國產(chǎn)氦檢儀工作原理

氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極,產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。國產(chǎn)氦檢儀工作原理

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