氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦檢儀緊湊的設計適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。無損氦氣檢測設備多少錢

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構成:真空系統(tǒng)、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離，氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極，產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號，該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。無損氦氣檢測設備多少錢利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。

氦質譜檢漏儀的選擇要進行多家的貨物進行對比，將不同品牌的樣品放一起對比，這樣氦質譜檢漏儀儀質量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質量，建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程，同時并索要樣品驗貨，在安裝完后，可以要求商家在再測試一遍。保持氦質譜檢漏儀的干燥，嚴禁接觸水，并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴禁在高溫的環(huán)境中使用氦質譜檢漏儀，高溫使用儀器，很可能會長久性的損壞傳感器。請參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質譜檢漏儀的應用范圍領域也不相同，例如工業(yè)用的氦質譜檢漏儀，需符合國家各項安全標準，使用起來也更復雜。

氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。氦質譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產(chǎn)的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。無損氦氣檢測機

有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。無損氦氣檢測設備多少錢

氦質譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口。3、噴氦時應經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關閉，才能取工件。5、對同一工件，如有兩處以上漏點，應排除Zda的漏點后，再對其它地方檢漏。6、裝工件時應使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應通風良好，避免氦氣濃度，但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體，應避免泄漏浪費。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。無損氦氣檢測設備多少錢

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