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來源: 發(fā)布時間:2025-05-31

手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù)。探針臺廣泛應(yīng)用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。河北半自動探針臺哪家好

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“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強化更小晶粒定位的精確性,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。江蘇芯片測試探針臺哪里有探針卡常見故障分析及維護方法:芯片測試是IC制造業(yè)里不可缺少的一個重要環(huán)節(jié)。

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高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環(huán)境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內(nèi)部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環(huán)境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結(jié)露或者結(jié)霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內(nèi),使腔體里內(nèi)的氣體露的點進行降低直至到一定的點。

探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺移到下一個芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,提高了探針臺生產(chǎn)率。探針臺存放在氮氣柜中,防止探針的加快氧化。

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高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),來源于精密的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),達到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸。探針尖磨損和污染都會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。甘肅溫控探針臺哪家好

在實際的芯測試中探針卡的狀態(tài)是非常重要的。河北半自動探針臺哪家好

有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。河北半自動探針臺哪家好