超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn)。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ，這意味著對(duì)溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ，無(wú)論外界環(huán)境如何變化，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ，滿足不同用戶對(duì)溫度的個(gè)性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ，為對(duì)溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長(zhǎng)時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部，關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高，可達(dá) +/-5mK 精度。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)

我司憑借深厚的技術(shù)積累，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù)，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格，為諸如芯片研發(fā)這類(lèi)對(duì)溫度極度敏感的項(xiàng)目，打造了近乎完美的溫場(chǎng)環(huán)境，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時(shí)，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa，長(zhǎng)達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無(wú)后顧之憂。在潔凈度方面，實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。

電子顯微鏡用于觀察微觀世界，其內(nèi)部的電子束對(duì)環(huán)境要求極高。環(huán)境中的塵埃顆粒可能吸附在電子束路徑上的部件表面，影響成像質(zhì)量。精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制，將空氣中塵埃過(guò)濾干凈，為電子顯微鏡提供超潔凈空間。同時(shí)，其具備的抗微震功能，能有效隔絕外界震動(dòng)干擾，確保電子顯微鏡穩(wěn)定成像，讓科研人員清晰觀察微觀結(jié)構(gòu)。對(duì)于光學(xué)顯微鏡，溫度和濕度變化會(huì)影響鏡片的光學(xué)性能。濕度不穩(wěn)定可能導(dǎo)致鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)，降低光線透過(guò)率。精密環(huán)控柜通過(guò)溫濕度控制，為光學(xué)顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境，保證其光學(xué)性能穩(wěn)定，成像清晰。

芯片蝕刻時(shí)，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過(guò)度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過(guò)程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成。

激光干涉儀用于測(cè)量微小位移，精度可達(dá)納米級(jí)別。溫度波動(dòng)哪怕只有 1℃，由于儀器主體與測(cè)量目標(biāo)所處環(huán)境溫度不一致，二者熱脹冷縮程度不同，會(huì)造成測(cè)量基線的微妙變化，導(dǎo)致測(cè)量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差，在高精度機(jī)械加工零件的尺寸檢測(cè)中，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品，增加生產(chǎn)成本。高濕度環(huán)境下，水汽會(huì)干擾激光的傳播路徑，使激光發(fā)生散射，降低干涉條紋的對(duì)比度，影響測(cè)量人員對(duì)條紋移動(dòng)的精確判斷，進(jìn)而無(wú)法準(zhǔn)確獲取位移數(shù)據(jù)，給精密制造、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來(lái)極大困擾。該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng)、環(huán)境潔凈、照明安防及實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng)，能夠?qū)崟r(shí)記錄查詢數(shù)據(jù)。高精度溫濕度設(shè)備成本

為航天零部件檢測(cè)打造的專(zhuān)屬環(huán)境，滿足其對(duì)溫濕度、潔凈度近乎苛刻的要求。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)

在計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中，高精度的電子天平用于精確稱量微小質(zhì)量差異，對(duì)環(huán)境溫濕度要求極高。若溫度突然升高 2℃，天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹，傳感器的靈敏度隨之改變，原本能測(cè)量到微克級(jí)別的質(zhì)量變化，此時(shí)卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn)。濕度方面，當(dāng)濕度上升至 70% 以上，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱量盤(pán)及內(nèi)部精密機(jī)械結(jié)構(gòu)上，增加了額外的重量，使得測(cè)量數(shù)據(jù)偏大，無(wú)法反映被測(cè)量物體的真實(shí)質(zhì)量，進(jìn)而影響科研實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度。0.5℃溫濕度調(diào)節(jié)