高溫工作壽命實(shí)驗(yàn)(Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL)測試目的:芯片處于高溫條件下,加入動(dòng)態(tài)信號(hào),并長時(shí)間工作,以評(píng)估其使用壽命,并確定其可靠性。測試條件:結(jié)溫(Tj)≧125℃,電壓Vcc≧Vccmax,測試時(shí)間:1000hrs樣品數(shù):77ea/lot,3lots測試讀點(diǎn):168、500、1000hrs參考規(guī)范:、JESD22-A108JESD22-A108B:Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85:METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K:Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74:EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗(yàn)、老化試驗(yàn)(OperatingLifeTest),為利用溫度、電壓加速方式,在短時(shí)間試驗(yàn)內(nèi),預(yù)估芯片在長時(shí)間可工作下的壽命時(shí)間(生命周期預(yù)估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate):評(píng)估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million),針對(duì)失效模式中的InfantMortality,一般測試低于48小時(shí),車規(guī)級(jí)芯片需要100%BI測試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife):評(píng)估可使用期的壽命時(shí)間-FIT/MTTF,針對(duì)失效模式中的Wearout,一般需要測試1000小時(shí),屬于抽樣測試。 可靠性事業(yè)部提供各類芯片的可靠性測試方案,原理圖設(shè)計(jì),PCB加工制作,出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)。崇明區(qū)有哪些HTOL測試機(jī)
上海頂策科技有限公司(Topictest)推出的TH801智能在線監(jiān)控動(dòng)態(tài)老化設(shè)備,擁有多項(xiàng)發(fā)明專利及軟件著作權(quán),可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高HTOL效率??煽啃詼y試事業(yè)部提供可靠性測試整體解決方案,包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備,以及測試方案制定,PCB設(shè)計(jì)制作,測試試驗(yàn),可以滿足各類芯片可靠性測試需求。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù),大幅度提高HTOL效率,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本,全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報(bào)告更有說服力,下游客戶更放心。長寧區(qū)HTOL測試機(jī)推薦廠家TH801智能老化系統(tǒng),全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓質(zhì)量報(bào)告更有說服力,下游客戶更放心。
芯片HTOL測試一條龍服務(wù),可靠性設(shè)備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項(xiàng)可靠性測試方案制定,PCB設(shè)計(jì)制作,測試試驗(yàn),滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號(hào),SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì),原理圖設(shè)計(jì),PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試試驗(yàn),出具可靠性報(bào)告,上海頂策科技有限公司提供高質(zhì)量、高效率、低成本HTOL測試方案。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù),大幅度提高HTOL效率,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本,全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報(bào)告更有說服力,下游客戶更放心。
本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除的電荷分布示意圖;發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實(shí)施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中,具體標(biāo)號(hào)如下:100-襯底;101-源極;102-漏極;103-隧穿氧化層;104-浮柵;105-柵間介質(zhì)層;106-控制柵;107-側(cè)墻;具體實(shí)施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測試方法,以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細(xì)的比例,*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。圖1為本發(fā)明實(shí)施例的閃存htol測試方法流程圖,上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng),通過監(jiān)測數(shù)據(jù),可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅度提高HTOL效率。
可靠性方案設(shè)計(jì),HTOL測試服務(wù)。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號(hào),SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計(jì),原理圖設(shè)計(jì),PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試試驗(yàn),出具可靠性報(bào)告,上海頂策科技有限公司提供高質(zhì)量、高效率、低成本HTOL測試方案。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測技術(shù),大幅度提高HTOL效率,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本,全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報(bào)告更有說服力,下游客戶更放心。上海頂策科技TH801智能老化系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,具體到每顆芯片的狀態(tài)數(shù)據(jù)。奉賢區(qū)有哪些HTOL測試機(jī)
上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,確保芯片處于正常HTOL狀態(tài),保證HTOL測試質(zhì)量。崇明區(qū)有哪些HTOL測試機(jī)
HTOL的注意要點(diǎn)高溫工作壽命的測試條件主要遵循JESD22-A108進(jìn)行,除了給器件合適的偏置與負(fù)載外,主要包括溫度應(yīng)力和電壓應(yīng)力,這兩者都屬于加速因子。合理設(shè)置溫度應(yīng)力和電壓應(yīng)力,以便在合理的時(shí)間和成本下完成壽命評(píng)估。對(duì)于硅基產(chǎn)品,溫度應(yīng)力一般設(shè)置在結(jié)溫>=125℃,GaAs等其它耐高溫材料則可以設(shè)置更高的溫度,具體根據(jù)加速要求而定。但無論哪種材料,均需要結(jié)溫小于材料的極限工作溫度或者熱關(guān)斷(thermalshutdown)溫度。HTOL硬件的散熱設(shè)計(jì)有利于加速因子的提高,這樣可以節(jié)省試驗(yàn)時(shí)間。電壓應(yīng)力一般采用最高工作電壓進(jìn)行,如果需要提高加速度,則可以采用更高的電壓進(jìn)行試驗(yàn),但是無論電壓應(yīng)力還是溫度應(yīng)力都不允許器件處于過電應(yīng)力的狀態(tài)。 崇明區(qū)有哪些HTOL測試機(jī)
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