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氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀...

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦檢儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和...

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。嘉興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀的...

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀，氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。安徽自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦檢儀的基本原理...

氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度...

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。浙江全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。...

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護(hù)：1.定期檢查機(jī)械泵的油位，如不足足應(yīng)及時(shí)添加；如果機(jī)械泵的油是棕色、褐色或聞起來有糊狀的味道，這意味著油已經(jīng)惡化了。此時(shí)，應(yīng)釋放泵中的油，必要時(shí)，先用新油沖洗，然后注入新油。2.定期清洗或更換機(jī)械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴，可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出，然后清洗，然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），正壓法，氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級...

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。上海...

氦檢儀在壓力容器中的常用方法：噴氦法，噴氦法是常用，比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦氦檢儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法，這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí)，說明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率。總漏率為各個(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。...

氦檢儀常用的幾種檢漏方法有：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點(diǎn)型，另一種是漏率型；在實(shí)際檢驗(yàn)過程中，應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不...

氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)校...

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。無錫無損氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大...

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用。上海真空氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展，...

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。常州智能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢氦檢儀的...

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。氦檢儀在壓力容器中的常用方法...

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對前級泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？無錫小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工...

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)...

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理要求是什么？無錫臺式氦質(zhì)譜檢...

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。浙江國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢氦檢儀機(jī)械泵故障及處理：1、機(jī)械泵不動(dòng)作，檢查項(xiàng)...

任何儀器在制作過程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件，關(guān)系著車輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法：如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法，在檢漏速度、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術(shù)，是集真空技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù)，為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用，氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。檢漏時(shí)，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中，使氦檢儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目...

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測量誤差的主...

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時(shí)間后，氦檢儀即可發(fā)出信號。檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。蘇州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀原理影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些？...

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的因素：1、受到檢測壓力的影響，泄漏率對測試壓力的依賴性，對不同的測量條件是不同的。一般而言，對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對泄漏率的影響較大，而對于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測試壓力的增高，還會(huì)帶來諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長等一系列問題。因此，建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測，然后選擇一個(gè)滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響，在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測量容積，那么可能會(huì)無法達(dá)到測...

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源。科研領(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。噴氦法、吸氦法是氦...

氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進(jìn)入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達(dá)接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動(dòng)化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進(jìn)方向發(fā)展。氦檢儀不只靈敏度高，而且操作方便；常州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。...

氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個(gè)方面？第1，當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同，即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等，導(dǎo)致進(jìn)入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測量誤差。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收...

氦檢儀常用的幾種檢漏方法：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點(diǎn)型，另一種是漏率型；在實(shí)際檢驗(yàn)過程中，應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的...

選擇氦檢儀時(shí)主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預(yù)抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（...