影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?穩(wěn)定時(shí)間對檢測的影響,在充氣的時(shí)候,壓縮空氣會因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后,引起一系列的熱力學(xué)-動力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,其壓力會發(fā)生降低,若此時(shí)進(jìn)行測量,則這種壓力的變化會被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化,影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時(shí),這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。氦質(zhì)譜檢漏儀被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。自動氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)氦質(zhì)譜檢...
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出??筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小??蓹z測工件的整體漏點(diǎn)。檢測精度較高。適用行業(yè):電子元器件,電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn):檢測靈敏度高;可以進(jìn)行批量化檢測;一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時(shí)壓...
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面:第1,氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時(shí)也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不...
在針對氦檢儀選擇和安裝真空計(jì)時(shí),必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計(jì)可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計(jì)具有抽氣效應(yīng),因此指示的壓力低于真空室中的實(shí)際壓力。冷陰極真空計(jì)具有固有的濺射效應(yīng),這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體(如氬)一起抽空時(shí)尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時(shí),電離真空計(jì)受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣,讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計(jì)的開關(guān)點(diǎn),以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強(qiáng)磁場和電場會影響真空計(jì)的性能。尤其對于...
氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,即為分子泵不工作。可能是前級壓力過高(分子泵啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟,機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能...
在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時(shí)間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時(shí)對泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)...
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序:從被檢件物體的上方至下方,由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住,再對另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí),如果,檢漏儀上的顯示有變化,其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其...
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出??筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小??蓹z測工件的整體漏點(diǎn)。檢測精度較高。適用行業(yè):電子元器件,電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn):檢測靈敏度高;可以進(jìn)行批量化檢測;一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時(shí)壓...
使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問題:(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡便,但儀器的清理時(shí)間較長。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過一段時(shí)間的使用后,靈敏度會有所下降,嚴(yán)重時(shí)對純氦無反應(yīng)。因此,平時(shí)應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運(yùn)行一段時(shí)間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對儀器的靈...
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時(shí)間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)是本底噪聲。杭州小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo):1.可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.啟動時(shí)間:≤5min;4.響應(yīng)時(shí)間:≤1s;5.檢漏口的壓力:1500Pa;6.電源要求:220v,50Hz,單相,10A;7.工作環(huán)境:5-35℃;8.相對濕度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃;相對濕度:
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調(diào)行業(yè)對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標(biāo)要求越來越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本,所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢...
氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實(shí)際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計(jì)算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實(shí)際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值;方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計(jì)算值。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可...
氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動。客制化氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng),...
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時(shí)間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用。常州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀中沒有手動閥,現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油...
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出??筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小??蓹z測工件的整體漏點(diǎn)。檢測精度較高。適用行業(yè):電子元器件,電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn):檢測靈敏度高;可以進(jìn)行批量化檢測;一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時(shí)壓...
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲,目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn),使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,主要形成的原因包括:一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,而電離規(guī),特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng),其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施,如減少采用有機(jī)材料,不用磁放電規(guī)等。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈...
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試,測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)。無錫小型氦質(zhì)譜檢漏儀定制氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng):1、工件...
氦檢儀開機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時(shí)間開冷規(guī),可等一會兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。常州氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同...
在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時(shí)間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時(shí)對泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
氦檢儀在壓力容器中的常用方法:噴氦法,噴氦法是常用,比較方便的檢漏方法。檢漏時(shí),用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣,如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置,則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升,氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少,超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法,這種方法使用一個(gè)檢漏罩(塑料薄膜等)把被檢容器包起來,先排除罩內(nèi)空氣,然后充入氦氣或氦氣的混合氣體,氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接,當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時(shí),說明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率??偮┞蕿楦鱾€(gè)分漏率之和;總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值,則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值;總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值,則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。...
在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時(shí)間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時(shí)對泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)...
選購氦檢儀的注意事項(xiàng)有哪些?1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度,根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進(jìn)行研究可以發(fā)現(xiàn),不同的產(chǎn)品檢漏操作時(shí)所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別,消費(fèi)者在選購氦檢儀時(shí)必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選,例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度,立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實(shí)現(xiàn)才是較正確的挑選方式;2.注意檢測靈敏度和操作模式特點(diǎn),消費(fèi)者在挑選這種檢測儀器時(shí),必須要分析各種檢測儀器的檢測模式,確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測范圍來提高生產(chǎn)的效率,并且在挑選氦檢儀時(shí)也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進(jìn)行分析,確保這種氦檢儀的精確度...
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng):1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機(jī)檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊,以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進(jìn)氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號小。氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些?重慶氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦檢儀常用的幾種檢漏方法有:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類...
氦檢儀本底漏率值是什么?本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量,由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,5.24×10-6,也就是百萬分之五左右,這說明正??諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體,才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小.正因?yàn)楸镜仔?,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反?yīng)出來。本底高一般都是泄漏的原因,建議檢查閥有沒有內(nèi)漏,試試增加清掃氣體的壓力,但是也不能過高,因?yàn)闀绊懗榭招省A硗鈾z漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器,避...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。金...