氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦檢儀怎么選,這取決于客戶(hù)的需求...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周?chē)h(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會(huì)失效。...
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
氦檢儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)氦檢儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng),運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來(lái)源于電路噪聲和本底噪聲。溫州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格在針對(duì)氦檢儀選擇和安裝真空計(jì)時(shí),必須考慮其特...
選購(gòu)氦檢儀的注意事項(xiàng)有哪些?1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度,根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進(jìn)行研究可以發(fā)現(xiàn),不同的產(chǎn)品檢漏操作時(shí)所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別,消費(fèi)者在選購(gòu)氦檢儀時(shí)必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測(cè)功能需求進(jìn)行挑選,例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度,立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實(shí)現(xiàn)才是較正確的挑選方式;2.注意檢測(cè)靈敏度和操作模式特點(diǎn),消費(fèi)者在挑選這種檢測(cè)儀器時(shí),必須要分析各種檢測(cè)儀器的檢測(cè)模式,確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測(cè)范圍來(lái)提高生產(chǎn)的效率,并且在挑選氦檢儀時(shí)也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進(jìn)行分析,確保這種氦檢儀的精確度...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠(chǎng)時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱(chēng)之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類(lèi)似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?無(wú)錫氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)...
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、性?xún)r(jià)比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域,競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì),可縮短抽氣時(shí)間,提高使用效率;2、自我保護(hù)功能:在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能,系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空,且不需要液氮;3、結(jié)構(gòu)靈活:可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買(mǎi),前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵,對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式,也可選擇安裝在兩輪小車(chē)上的整體形式。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。金華便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1、盡量開(kāi)大節(jié)...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠(chǎng)時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱(chēng)之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類(lèi)似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。氦檢儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)...
氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上,目前通過(guò)對(duì)電子線(xiàn)路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話(huà),可以通過(guò)放大信號(hào)的辦法來(lái)提高信噪比來(lái)改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝弧⒄婵罩圃?、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車(chē)及制冷、低溫容器、閥門(mén)、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。氦檢儀為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。浙江無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)一臺(tái)氦檢儀應(yīng)用于調(diào)...
氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域:工業(yè):真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束線(xiàn)、同步輻射光源。科研領(lǐng)域:空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子:工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車(chē)制冷:蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè):核電閥門(mén)、核容器。航空航天:空間模擬器、航天器、管路。電廠(chǎng):管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比,具有檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬,此外氦檢儀選擇無(wú)毒、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,所以安全可靠。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多...
氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟:1、調(diào)氦峰方法:開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān),單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值,然后關(guān)漏孔開(kāi)關(guān),如表頭指示值變小,說(shuō)明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào),即找到氦峰;如表頭指示值不變,說(shuō)明不是氦峰,則繼續(xù)調(diào)“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號(hào)?。孩贌艚z沒(méi)正對(duì)電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。③分辨不好。在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的;紹興分體式氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦檢儀漏率的校...
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準(zhǔn),狠的完成檢漏。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。南京客制化氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率...
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí):(1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?金華小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括8個(gè)...
任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒(méi)有太大關(guān)系,但是汽車(chē)管路作為汽車(chē)轉(zhuǎn)配中的重要零部件,關(guān)系著車(chē)輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用,所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法:如加壓水檢法、壓差法、鹵素檢漏法,在檢漏速度、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷,而氦檢漏技術(shù),是集真空技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù),為汽車(chē)空調(diào)兩器及管路提供專(zhuān)業(yè)的檢漏方案。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用,氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中,使氦檢儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來(lái),達(dá)到了檢漏的目...
隨著汽車(chē)行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車(chē)空調(diào)行業(yè)對(duì)氦檢的需求越來(lái)越大,對(duì)氦檢的性能指標(biāo)要求越來(lái)越高。氦檢儀在汽車(chē)空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對(duì)被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過(guò)氦檢儀測(cè)出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠(chǎng)使用氦檢儀主要是對(duì)汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話(huà)都會(huì)增加生產(chǎn)成本,所以電廠(chǎng)檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠(chǎng)檢...
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象,所用方法簡(jiǎn)便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測(cè)試漏率真實(shí)有效:(1)標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專(zhuān)業(yè)資質(zhì)計(jì)量單位計(jì)量;(2)使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦檢儀檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。常州移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo):1.可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.啟動(dòng)時(shí)間:≤5min;4.響應(yīng)時(shí)間:≤1s;5.檢漏口的壓力:1500Pa;6.電源要求:220v,50Hz,單相,10A;7.工作環(huán)境:5-35℃;8.相對(duì)濕度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃;相對(duì)濕度:
氦檢儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專(zhuān)業(yè)用于電廠(chǎng)檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成...
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí),由于常見(jiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成,因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞。因此,對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備...
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括幾個(gè)方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線(xiàn)性關(guān)系差。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。杭州推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類(lèi)型...
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法?氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多,常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法(抽真空),正壓法(吸入法)和背壓法(壓氦法),可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法,這是根據(jù)不同的檢測(cè)方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定。根據(jù)不同的檢漏目的,常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。負(fù)壓法(噴氦法)。對(duì)被檢工件抽真空??蓪?duì)被檢工件外可疑漏點(diǎn)噴氦,也可將工件罩起來(lái)對(duì)氦罩內(nèi)噴氦??筛鶕?jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵??蓹z測(cè)工件的具體漏點(diǎn)和準(zhǔn)確漏率。檢測(cè)精度高。適用行業(yè):鍍膜行業(yè),真空爐,真空配件,真空閥門(mén),壓力容器,真空系統(tǒng)等。氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理,用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所,特別是儀器的電源插座,應(yīng)符合要求,要有良好的地線(xiàn),左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀,以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔,可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠,機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)隨著汽車(chē)工業(yè)的快速發(fā)展,汽車(chē)空調(diào)工業(yè)對(duì)使用氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀,檢漏儀進(jìn)行氦檢的需求越來(lái)越大...
氦檢儀在真空度校驗(yàn)中有什么應(yīng)用?氦是一種惰性氣體,不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無(wú)毒,也不會(huì)污染環(huán)境,因此使用起來(lái)也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會(huì)發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù),由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn),在電阻爐檢測(cè)泄漏中被普遍應(yīng)用。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。常州真空氦質(zhì)譜檢漏儀...
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護(hù),使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池,閥門(mén)、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦檢儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照...
氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過(guò)漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號(hào)小。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理要求是什么?臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢(qián)氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)...
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏...
使用氦檢儀需注意哪些問(wèn)題?響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間不應(yīng)大于3s。氦檢儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度:檢漏時(shí)噴有在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。根據(jù)經(jīng)驗(yàn),兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內(nèi)氦檢儀還沒(méi)有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。儀器的清理時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同,但由于儀器零件對(duì)氦的吸附和脫附作用的影響,清理時(shí)間一般要更長(zhǎng)些。另外,噴氦量的多少也影響清理時(shí)間的長(zhǎng)短,噴氦時(shí)噴頭移動(dòng)速率合理,可以縮短儀器的清理時(shí)間,提高檢漏效率。...