潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時,應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等??諝膺^濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠,易于檢漏和更換。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測方法
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時,掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個出風(fēng)面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗收限值:當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時,就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時間,光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。北京國內(nèi)潔凈室檢測價格嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
溫濕度與光照度的協(xié)同控制策略潔凈室需維持溫濕度在特定范圍內(nèi)(如22℃±2℃、45%±10% RH),以確保工藝穩(wěn)定性和人員舒適度。檢測采用多點(diǎn)溫濕度記錄儀,重點(diǎn)監(jiān)控關(guān)鍵區(qū)域(如灌裝線、凍干機(jī)出口)。某ADC藥物生產(chǎn)因濕度超標(biāo)導(dǎo)致中間體吸潮降解,經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)是空調(diào)系統(tǒng)加濕閥故障。整改方案包括加裝冗余傳感器和自動報警功能。光照度檢測需確保工作區(qū)照度≥300 lux且無眩光,使用照度計按網(wǎng)格法布點(diǎn)測量。某光學(xué)元件廠因局部照度不足,導(dǎo)致員工操作失誤,后通過LED燈帶優(yōu)化實現(xiàn)均勻照明。此外,需定期校準(zhǔn)環(huán)境參數(shù)儀器,確保數(shù)據(jù)可靠性。
潔凈室人員操作合規(guī)性與污染控制人員是潔凈室比較大污染源,需通過培訓(xùn)和監(jiān)測確保操作合規(guī)。檢測項目包括發(fā)塵量(采用Frazier透氣性測試儀)、手部微生物和潔凈服表面顆粒。例如,某企業(yè)要求操作員進(jìn)入B級區(qū)前穿戴連體服并通過氣閘間兩次更衣驗證。手部消毒需使用75%乙醇或異丙醇,擦拭后ATP值≤50 RLU。動態(tài)監(jiān)控發(fā)現(xiàn),某員工因未戴手套接觸設(shè)備表面,導(dǎo)致微生物超標(biāo),后通過增加監(jiān)控攝像頭和實時提醒系統(tǒng)降低人為失誤。此外,人員培訓(xùn)需涵蓋GMP基礎(chǔ)知識、緊急事件處理(如泄漏應(yīng)急響應(yīng))和潔凈服穿脫標(biāo)準(zhǔn)化流程。浮游菌采樣需用撞擊式設(shè)備,空氣流量28.3L/min。
(1)潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),產(chǎn)品精密度的日益提高,對無塵提出了越來越高的要求。目前,潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2)潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此,必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解,在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,室內(nèi)空氣會很快污染,影響產(chǎn)品質(zhì)量。(3)潔凈廠房是個相對的密閉體,由于停電造成送風(fēng)中斷,室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充,有害氣體不能排出,對工作人員的健康是不利的。潔凈室設(shè)計缺陷案例:未預(yù)留檢測口導(dǎo)致采樣困難。北京實驗室潔凈室檢測評估
潔凈室檢測報告需包含采樣點(diǎn)地圖及異常數(shù)據(jù)溯源。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測方法
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏;確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行,且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測方法