9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是。江蘇過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)周期

D.3.10自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。2自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開(kāi)機(jī)，方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自?xún)魰r(shí)間(to），與實(shí)測(cè)自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比，如果t≤12to,為合格。4自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。安徽微生物潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)激光粒子計(jì)數(shù)器需校準(zhǔn)后用于0.5μm以上顆粒動(dòng)態(tài)采樣。

隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過(guò)程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響，同時(shí)，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。

氣流模式可視化與層流驗(yàn)證技術(shù)層流潔凈室需驗(yàn)證單向氣流的均勻性和穩(wěn)定性，常用示蹤線法、粒子圖像測(cè)速技術(shù)（PIV）或煙霧測(cè)試。例如，ISO Class 5級(jí)層流罩需確保風(fēng)速在0.45±0.1 m/s范圍內(nèi)，且無(wú)渦流或死角。某半導(dǎo)體廠因?qū)恿髡诛L(fēng)速不均導(dǎo)致晶圓污染，后通過(guò)調(diào)整風(fēng)機(jī)頻率和導(dǎo)流板角度解決問(wèn)題。氣流可視化檢測(cè)還需評(píng)估開(kāi)門(mén)瞬間的氣流擾動(dòng)，采用粒子計(jì)數(shù)器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)粒子濃度恢復(fù)時(shí)間。FDA要求動(dòng)態(tài)條件下驗(yàn)證氣流模式，例如模擬人員走動(dòng)或設(shè)備移動(dòng)時(shí)的干擾。此外，回風(fēng)口的位置和數(shù)量需根據(jù)房間布局優(yōu)化，避免形成低速區(qū)或逆流。潔凈室（區(qū))與周?chē)目臻g必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。上海國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)分析

單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動(dòng)。江蘇過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)周期

壓差梯度與密封性驗(yàn)證的實(shí)踐要點(diǎn)潔凈室需維持正壓梯度（如A級(jí)區(qū)＞B級(jí)區(qū)＞C級(jí)區(qū)），防止外部污染物侵入。檢測(cè)時(shí)使用微壓差計(jì)（精度±1Pa）沿潔凈走廊-氣閘間-生產(chǎn)區(qū)的路徑逐點(diǎn)測(cè)量，記錄并驗(yàn)證壓差穩(wěn)定性。某疫苗生產(chǎn)車(chē)間因門(mén)頻繁開(kāi)啟導(dǎo)致壓差波動(dòng)超過(guò)±3Pa，引發(fā)交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。整改措施包括安裝余壓閥和優(yōu)化人流管控，同時(shí)定期檢查門(mén)窗密封條完整性。FDA指南強(qiáng)調(diào)，壓差系統(tǒng)需在動(dòng)態(tài)條件下驗(yàn)證，例如模擬設(shè)備故障或緊急開(kāi)門(mén)場(chǎng)景。此外，回風(fēng)管道的泄漏率需≤0.5%，可通過(guò)煙霧測(cè)試直觀評(píng)估氣流方向是否符合設(shè)計(jì)要求。江蘇過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)周期