激光加工的應(yīng)用范圍還在不斷擴(kuò)大,如用激光制造大規(guī)模集成電路,不用抗蝕劑,工序簡(jiǎn)單,并能進(jìn)行0.5微米以下圖案的高精度蝕刻加工,從而**增加集成度。此外,激光蒸發(fā)、激光區(qū)域熔化和激光沉積等新工藝也在發(fā)展中。 [激光技術(shù)與原子能、半導(dǎo)體及計(jì)算機(jī)一起,是二十世紀(jì)**負(fù)盛名的四項(xiàng)重大發(fā)明。激光作為上世紀(jì)發(fā)明的新光源,它具有方向性好、亮度高、單色性好及高能量密度等特點(diǎn),已廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、通訊、信息處理、醫(yī)療衛(wèi)生、***、文化教育以及科研等方面。據(jù)統(tǒng)計(jì),從**的光纖到常見(jiàn)的條形碼掃描儀,每年與激光相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)的市場(chǎng)價(jià)值高達(dá)上萬(wàn)億美元。中國(guó)激光產(chǎn)品主要應(yīng)用于工業(yè)加工,占據(jù)了40%以上的市場(chǎng)空間。例如,激光通過(guò)電磁場(chǎng),光束不會(huì)偏移;江陰購(gòu)買(mǎi)激光切割加工現(xiàn)貨
1、激光劃片激光劃技術(shù)是生產(chǎn)集成電路的關(guān)鍵技術(shù),其劃線細(xì)、精度高(線寬為15-25μm,槽深5-200μm)、加工速度快(可達(dá)200mm/s),成品率達(dá) 99.5%以上。集成電路生產(chǎn)過(guò)程中,在一塊基片上要制備上千個(gè)電路,在封裝前要把它們分割成單個(gè)管芯。傳統(tǒng)的方法是用金剛石砂輪切割,硅片表面因受機(jī)械力而產(chǎn)生輻射狀裂紋。用激光劃線技術(shù)進(jìn)行劃片,把激光束聚焦在硅片表面,產(chǎn)生高溫使材料汽化而形成溝槽。通過(guò)調(diào)節(jié)脈沖重疊量可精確控制刻槽深度,使硅片很容易沿溝槽整齊斷開(kāi),也可進(jìn)行多次割劃而直接切開(kāi)。徐州本地激光切割加工哪家好激光在空氣及某種氣體環(huán)境中均能施焊,并能通過(guò)玻璃或?qū)馐该鞯牟牧线M(jìn)行焊接。
采用脈沖激光器可進(jìn)行打孔,脈沖寬度為0.1~1毫秒,特別適于打微孔和異形孔,孔徑約為0.005~1毫米。激光打孔已***用于鐘表和儀表的寶石軸承、金剛石拉絲模、化纖噴絲頭等工件的加工。在造船、汽車(chē)制造等工業(yè)中,常使用百瓦至萬(wàn)瓦級(jí)的連續(xù)CO2激光器對(duì)大工件進(jìn)行切割,既能保證精確的空間曲線形狀,又有較高的加工效率。對(duì)小工件的切割常用中、小功率固體激光器或CO2激光器。在微電子學(xué)中,常用激光切劃硅片或切窄縫,速度快、熱影響區(qū)小。用激光可對(duì)流水線上的工件刻字或打標(biāo)記,并不影響流水線的速度,刻劃出的字符可長(zhǎng)久保持。
——產(chǎn)生熔化但不到氣化的激光功率密度,對(duì)于鋼材料來(lái)說(shuō),在104 W/cm2~105 W/cm2之間。(2) 激光火焰切割激光火焰切割與激光熔化切割的不同之處在于使用氧氣作為切割氣體。借助于氧氣和加熱后的金屬之間的相互作用,產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)使材料進(jìn)一步加熱。對(duì)于相同厚度的結(jié)構(gòu)鋼,采用該方法可得到的切割速率比熔化切割要高。另一方面,該方法和熔化切割相比可能切口質(zhì)量更差。實(shí)際上它會(huì)生成更寬的割縫、明顯的粗糙度、增加的熱影響區(qū)和更差的邊緣質(zhì)量。氣流還有冷卻已切割面,減少熱影響區(qū)和保證聚焦鏡不受污染的作用)。
由于激光被聚焦成極小的光斑,熱影響區(qū)極小,切劃50μm深的溝槽時(shí),在溝槽邊25μm的地方溫升不會(huì)影響有源器件的性能。激光劃片是非接觸加工,硅片不會(huì)受機(jī)械力而產(chǎn)生裂紋。因此可以達(dá)到提高硅片利用率、成品率高和切割質(zhì)量好的目的。還可用于單晶硅、多晶硅、非晶硅太陽(yáng)能電池的劃片以及硅、鍺、砷化稼和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。2、激光微調(diào)激光微調(diào)技術(shù)可對(duì)指定電阻進(jìn)行自動(dòng)精密微調(diào),精度可達(dá)0.01%一0.002%,比傳統(tǒng)方法的精度和效率高,成本低。集成電路、傳感器中的電阻是一層電阻薄膜,制造誤差達(dá)上15一20%,只有對(duì)之進(jìn)行修正,才能提高那些高精度器件的成品率。激光加工是利用光的能量經(jīng)過(guò)透鏡聚焦后在焦點(diǎn)上達(dá)到很高的能量密度,靠光熱效應(yīng)來(lái)加工的。江陰購(gòu)買(mǎi)激光切割加工現(xiàn)貨
激光雕刻加工是激光系統(tǒng)常用的應(yīng)用。江陰購(gòu)買(mǎi)激光切割加工現(xiàn)貨
已大量用在給電子元器件、集成電路打商標(biāo)型號(hào)、給印刷電路板打編號(hào)等。紫外波段激光技術(shù)發(fā)展很快,由于材料在紫外波激光作用下發(fā)生電子能帶躍遷,打破或削弱分子間的結(jié)合鍵,從而實(shí)現(xiàn)剝蝕加工,加工邊緣十分齊整,因此在激光標(biāo)記技術(shù)中異軍突起,尤其受到微電子行業(yè)的重視。 [3]激光切割的加工精度是由加工機(jī)性能、光束品質(zhì)、加工現(xiàn)象而決定的整體精度。一、 關(guān)于尺寸變化即使按照程序進(jìn)行切割,也有加工產(chǎn)品無(wú)法滿足精度要求的情況。所以需要根據(jù)不同的情況采取對(duì)策。江陰購(gòu)買(mǎi)激光切割加工現(xiàn)貨
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