電鍍設(shè)備是通過電解反應(yīng)在物體表面沉積金屬層的裝置，用于形成保護(hù)性或功能性涂層。

其系統(tǒng)包括：

電解電源：提供0-24V直流電，電流可達(dá)數(shù)千安培，適配不同鍍種需求；

電解槽：耐腐蝕材質(zhì)（如PP/PVDF），雙層防漏設(shè)計，容積0.5-10m3；

電極系統(tǒng)：陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃，陰極掛具定制設(shè)計，確保接觸電阻＜0.1Ω；

控制系統(tǒng)：精細(xì)溫控（±1℃）、pH監(jiān)測（±0.1）及鍍層厚度管理。

設(shè)備分類：

掛鍍線：精密件加工，厚度均勻性±5%；

滾鍍系統(tǒng)：小件批量處理，效率3-8㎡/h；

連續(xù)電鍍線：帶材/線材高速生產(chǎn)，產(chǎn)能達(dá)30㎡/h；

選擇性電鍍：數(shù)控噴射，局部鍍層精度±3%。 滾鍍后的離心甩干設(shè)備內(nèi)置防滑襯墊，高速旋轉(zhuǎn)時固定工件，避免碰撞損傷并加速脫水。湖北電鍍設(shè)備

半導(dǎo)體滾鍍設(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴散并增強附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。

配方管理：存儲不同鍍層的工藝參數(shù) 廣東深圳連續(xù)電鍍設(shè)備檢測設(shè)備配備 X 射線測厚儀與 pH 傳感器，在線監(jiān)測鍍層厚度及藥液參數(shù)，實時反饋并修正工藝偏差。

龍門自動線的特點

高精度定位

伺服系統(tǒng)+光柵尺反饋，確保工件浸鍍位置誤差＜1mm適用于精密電子接插件、汽車精密部件等對鍍層均勻性要求高的場景（厚度偏差±3-5%）。

多工藝兼容性

可集成除油、酸洗、電鍍、鈍化、烘干等20+工序支持掛鍍、滾鍍（通過可切換掛具）混合生產(chǎn)

柔性化生產(chǎn)

通過編程快速切換工件類型（換型時間＜30分鐘）支持小批量多品種（如同時處理10種不同規(guī)格螺栓）

穩(wěn)定性強

故障率＜0.5%（關(guān)鍵部件如電機、傳感器采用工業(yè)級防護(hù)）連續(xù)運行壽命＞10萬小時

典型應(yīng)用

行業(yè)                                        應(yīng)用案例                                          工藝要求                                            汽車制造                  發(fā)動機支架鍍鋅、輪轂鍍鉻                     耐鹽霧＞720小時，厚度10-15μm

電子行業(yè)                  手機接口鍍金、PCB接插件鍍鎳 鍍層         孔隙率＜5個/cm2                                          五金                   衛(wèi)浴鍍銅鎳鉻三鍍層                        表面粗糙度Ra＜0.2μm

全自動磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術(shù)特點

1.高均勻性：

旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計減少“邊緣增厚”現(xiàn)象，鍍層均勻性達(dá)±5%以內(nèi)。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設(shè)備內(nèi)建HEPA過濾系統(tǒng)，滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。

4.高效生產(chǎn)：支持多片晶圓同時處理（如6片/批次），UPH（每小時產(chǎn)量）可達(dá)50~100片。

應(yīng)用場景

1.先進(jìn)封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結(jié)構(gòu)表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 噴淋式電鍍設(shè)備利用高壓噴頭將電解液均勻噴灑在工件表面，加速離子交換，提高電鍍效率，形狀復(fù)雜的工件。

電泳生產(chǎn)線的特點

1.高效均勻

涂層厚度可控（通常 5~30μm），且無論工件形狀多復(fù)雜（如內(nèi)腔、焊縫），均可通過電場均勻覆蓋，尤其適合結(jié)構(gòu)復(fù)雜的工件（如汽車車身）。

2.環(huán)保節(jié)能

電泳漆以水為溶劑，VOC（揮發(fā)性有機物）排放低，符合環(huán)保要求；電能和涂料利用率高，浪費少。

3.高防腐性

陰極電泳涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性，是汽車車身防腐的工藝（如汽車底漆耐鹽霧測試可達(dá) 1000 小時以上）。

4.自動化程度高

從工件上線到涂層固化全流程自動化，減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率和一致性。

5.適用范圍廣

適合批量生產(chǎn)，工件材質(zhì)包括金屬（鋼鐵、鋁、鋅合金等）、塑料（需導(dǎo)電處理）等。 自動化電鍍線的機器人上下料系統(tǒng)，通過視覺識別定位工件，實現(xiàn)高精度無人化操作。真空電鍍設(shè)備配件

離心干燥設(shè)備適配滾鍍后工件，通過高速旋轉(zhuǎn)甩干水分，避免傳統(tǒng)熱風(fēng)干燥的能耗與時間損耗。湖北電鍍設(shè)備

陽極氧化線的主要組成部分

1. 前處理系統(tǒng)

目的：表面油污、氧化皮和雜質(zhì)，確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。

工序：

除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗

2. 陽極氧化處理系統(tǒng)

氧化槽：

材質(zhì)：耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼，內(nèi)置陰極板（鉛板、不銹鋼）和導(dǎo)電裝置。

控制裝置：

電源--溫控系統(tǒng)--攪拌系統(tǒng)

電解液類型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，適合裝飾性氧化（如鋁型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性強，用于硬質(zhì)氧化（如航空零件）。

鉻酸：膜層柔軟、孔隙少，適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件（如汽車部件）。

3.后處理系統(tǒng)（功能拓展）

染色（可選）：利用氧化膜的多孔性吸附有機染料或金屬鹽，實現(xiàn)顏色定制。

封孔（關(guān)鍵工序）：

熱水封孔：使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O，堵塞孔隙，提升耐腐蝕性。

蒸汽封孔：高溫蒸汽加速水合，適合厚膜（如硬質(zhì)氧化）。

化學(xué)封孔：鎳鹽 / 鈷鹽溶液，形成氫氧化物沉淀封孔

干燥：熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自動化控制系統(tǒng)

輸送設(shè)備：懸掛式鏈條、龍門行車或機械手，實現(xiàn)工件在各槽間的自動傳輸。

參數(shù)監(jiān)控：PLC 或工業(yè)電腦實時監(jiān)測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值，自動補加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 湖北電鍍設(shè)備