對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。浙江氮氣氣體管道設(shè)計安裝

氣瓶間布局，1.由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃氣體，按國家規(guī)定必須分庫存放。分別放入不同的氣瓶間內(nèi)。2.氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板，其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。3.壓力調(diào)節(jié)器入口前需加裝燒結(jié)金屬過濾器以防止顆粒等雜質(zhì)污染系統(tǒng)。4.所有面板均配備吹掃閥，可實現(xiàn)對面板的清洗置換。5.壓力調(diào)節(jié)器及相關(guān)管件均需牢固的固定在壓力調(diào)節(jié)面板上，面板應(yīng)設(shè)計的緊湊而合理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。6.壓力調(diào)節(jié)面板應(yīng)采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全性。7.排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點。江蘇氦氣氣體管道設(shè)計市價采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。

氣體管道、閥門和附件要求：1、氣體管道宜采用無縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。2、氣體管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道。如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳膠管。3、閥門和附件的材質(zhì)：對氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。氫氣和氧氣管道所用的附件和儀表必須是該介質(zhì)的專門使用產(chǎn)品，不得代用。4、閥門與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、氣體管道中的法蘭墊片其材質(zhì)應(yīng)依管內(nèi)輸送的介質(zhì)確定。

吸送式，通常以20～40 m/s的高速氣流在管路系統(tǒng)內(nèi)懸浮輸送物料，較高真空度可達60 kPa。該系統(tǒng)在許多行業(yè)中采用，如圖2.1.0所示，物料的輸送過程是在風(fēng)機的一側(cè)完成的，該系統(tǒng)具有以下特點。1—回轉(zhuǎn)式供料器；2—料倉；3—輸料管；4－次旋風(fēng)分拽器；5－排料器；6一料罐；7一二次旋風(fēng)分離器；8一羅茨鼓風(fēng)機。1 保證物料和灰塵不會飛逸外揚。2 適宜于物料從幾處向一處集中輸送。3 適用于堆積面廣或存放在深處的物料輸送。4 進料方式比壓送系統(tǒng)中的供料器簡單。5 對卸料口、除塵器的嚴密性要求高，致使這兩種設(shè)備構(gòu)造較復(fù)雜。6 輸送量、輸送距離受到限制，且動力消耗較高。氫氣管道不得用螺紋連接。

供氣管網(wǎng)的布置、設(shè)計和尺寸選擇對要說空氣系統(tǒng)的效率、可靠性和壓縮空氣的整體能耗都有非常大的影響。比如說，有時候我們必須通過空提高空壓機的供氣壓力以彌補因較大的管道壓損造成的終端壓力不足，從壓縮空氣的系統(tǒng)能耗來說，這是非常不經(jīng)濟的設(shè)計。此外，當用氣需求降低的時候管道系統(tǒng)的壓損也會隨之降低，從而在終端用氣點的壓力卻不斷上升甚至達到用氣壓力限值。 一般來說壓縮空氣的官網(wǎng)設(shè)計要達到從空壓機出口到較遠端的用氣點之間的壓損不超過0.1 bar。 這0.1bar的壓損包括官網(wǎng)間連接管路、管接頭和其它管路連接件產(chǎn)生的壓損。當管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時1～3次的通風(fēng)措施。浙江氮氣氣體管道設(shè)計安裝

氫氣管道與其它可燃氣體管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.50m。浙江氮氣氣體管道設(shè)計安裝

氣體管道設(shè)計規(guī)范：1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。當管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應(yīng)有換氣1 - 3 次/h 的通風(fēng)措拖。2.按標準單元組合設(shè)計的通用實驗空，各種氣體管道也應(yīng)按標準單元組合設(shè)計。3.穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴密封堵。4.氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。5.氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。浙江氮氣氣體管道設(shè)計安裝