負壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設(shè)水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優(yōu)點。內(nèi)部單向閥保護吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護環(huán)境和減少油的損失。由于該設(shè)備是空氣冷卻，設(shè)備機房必須要有良好的透風。負壓吸引系統(tǒng)附屬設(shè)備：雙重細菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護真空系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴密封堵。南京礦用氣體管道設(shè)計方案

高純氣體管路設(shè)計要點：01輸送系統(tǒng)“分等級”，對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。02采樣儀器及“采樣口”，為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。03確保氣體純度，在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。潔凈室氣體管道設(shè)計行價填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。

儲氣罐選型通常一個供氣系統(tǒng)都有一個或多個儲氣罐。儲氣罐的大小是要匹配空壓機的氣量大小、控制方式和終端用氣需求的。儲氣罐具有多重功能：如緩沖罐（平衡來自壓縮機的脈動）、冷卻壓縮空氣和除去壓縮空氣中的冷凝水等。所以儲氣罐必須配置冷凝水排放裝置。下面這個公式可以用于儲氣罐大小的計算和選型，但該公式只適用于帶有加卸載控制功能的空壓機系統(tǒng)：儲氣罐容積 (l); qC = 壓縮機 FAD (l/s); p1 = 壓縮機進氣壓力 (bar(a)); T1 = 壓縮機較大進氣溫度 (K); T0 = 儲氣罐中壓縮空氣溫度 (K); (pU -pL) = 加載與卸載之間的設(shè)定壓力差; fmax = 較大負載頻率 （1循環(huán)/30秒應(yīng)用于阿特拉斯·科普柯壓縮機）對于帶有可變速度控制（VSD）的壓縮機而言，所需的儲氣罐容積會較大程度上減少。當使用上述公式時，qc應(yīng)視較低速度時的FAD。

氣力輸送設(shè)計的計算方法，一般設(shè)計程序，輸送系統(tǒng)的布置。在合理選定氣力輸送系統(tǒng)型式后，便可進行系統(tǒng)布置。布置時可根據(jù)廠房的設(shè)備布置圖，首先確定始點的供料器或吸嘴的位置和終點分離器的位置；其次確定空壓機和附屬設(shè)備的位置，再確定空氣管和輸送管道的配管、管件和彎管的數(shù)目等。完成布置后，就可以開始進行詳細工程設(shè)計。在管道布置時，注意減少彎管的數(shù)目，在長距離輸送時要注意使每段水平管不宜過長。通過室外的管段，必要時需進行保溫，以防因溫差懸殊而造成管內(nèi)壁結(jié)露使物料粘壁。在物料輸送管上，不應(yīng)安裝有礙輸送的管件等。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

氣體管道、閥門和附件要求?：1、氣體管道宜采用無縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。2、氣體管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道。如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳膠管。3、閥門和附件的材質(zhì)：對氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。氫氣和氧氣管道所用的附件和儀表必須是該介質(zhì)的專門使用產(chǎn)品，不得代用。4、閥門與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、氣體管道中的法蘭墊片其材質(zhì)應(yīng)依管內(nèi)輸送的介質(zhì)確定。管道系統(tǒng)應(yīng)有維護保養(yǎng)的方便性，包括檢修口、閥門的可訪問性和更換部件的便捷性。鋁合金氣體管道設(shè)計安裝

氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。南京礦用氣體管道設(shè)計方案

實驗室氣體采用集中供氣方式，由實驗室外專門使用供氣區(qū)域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產(chǎn)生外，其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶，并安裝自動切換面板進行供氣控制，保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應(yīng)安裝在實驗室外。實驗室氣體由不銹鋼管（BA級）路輸送，一般1.5米內(nèi)并必須有支架固定在墻面。在實驗室內(nèi)所有管路安裝在天花板下方，沿墻進行明設(shè)。所有管路標明連接的氣體。氣體管路每隔1.5米的距離，都要有明確標示，同時指示氣體的流向。南京礦用氣體管道設(shè)計方案