氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范?：1、本章規(guī)定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、煤氣、壓縮空氣和真空等實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣體管道設(shè)計(jì)。2、氣體管道設(shè)計(jì)除應(yīng)按現(xiàn)行的《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》、《工業(yè)企業(yè)煤氣安全規(guī)程》、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》、《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》等的規(guī)定執(zhí)行外，尚應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。4、按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)室，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點(diǎn)。泰州定制氣體管道設(shè)計(jì)

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。2.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。3.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。上海特殊氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。

壓縮空氣管網(wǎng)設(shè)計(jì)當(dāng)設(shè)計(jì)與確定壓縮空氣網(wǎng)絡(luò)時(shí)，首先需要有管網(wǎng)及用氣系統(tǒng)的設(shè)備列表，所有用氣設(shè)備，和一張標(biāo)明了各用氣點(diǎn)位置的布局圖。用氣點(diǎn)可以按照一定的邏輯進(jìn)行分類編組并由同一供氣支管供氣。當(dāng)然一個(gè)供氣主管路為每個(gè)供氣支管供氣。一個(gè)完整的壓縮空氣管網(wǎng)有四個(gè)主要部分：供氣主管供氣支管設(shè)備連接管管道配件供氣主管把壓縮空氣從壓縮機(jī)房輸送到用氣區(qū)域領(lǐng)域。供氣支管是將主管內(nèi)的空氣引到用氣區(qū)域，設(shè)備連接管將支管與用氣設(shè)備連接起來。

氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范：1、穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。

高壓儲(chǔ)氣瓶的使用安全。對(duì)于易燃易爆氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體等高壓儲(chǔ)氣瓶的運(yùn)輸、貯存、和使用，必須制定嚴(yán)格的管理制度，操作人員上崗應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格的培訓(xùn)，了解、熟悉相關(guān)氣體的特性和安全知識(shí)方可上崗。搬運(yùn)：高壓儲(chǔ)氣瓶在搬運(yùn)前，應(yīng)認(rèn)真檢查瓶口閥的完好性，并裝好保護(hù)帽，運(yùn)輸時(shí)要使用專門使用氣瓶小手推車，運(yùn)輸過程中要固定好氣瓶，不得使氣瓶發(fā)生碰撞、摩擦，裝卸時(shí)應(yīng)輕拿輕放，不得單人操作。貯存：高壓儲(chǔ)氣瓶應(yīng)貯存在40℃以下的場(chǎng)所，不得受到陽光的直射或風(fēng)吹雨淋，盡可能存放在濕度低的場(chǎng)所，應(yīng)遠(yuǎn)離煙火，不得放置在電纜、電線，腐蝕性化學(xué)品附近，不得將可燃性氣瓶與氧氣瓶放置在一起。同時(shí)應(yīng)豎放，并固定。使用：高壓儲(chǔ)氣瓶在使用時(shí)應(yīng)牢固的固定，不得活動(dòng)或放倒，氣瓶放氣時(shí)，瓶口閥應(yīng)緩慢打開，不得急劇開啟和過分用力，禁止用手觸摸安全閥，禁止從一個(gè)高壓儲(chǔ)氣瓶向另一高壓氣瓶沖灌氣體，氣體使用完后，應(yīng)先關(guān)閉瓶口閥，卸下減壓閥，裝好氣瓶的安全帽，使用后的高壓氣瓶必須留有必要的余壓，防止?jié)B入空氣。閥門與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。杭州氨氣氣體管道設(shè)計(jì)市價(jià)

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)是確保實(shí)驗(yàn)室安全運(yùn)行的關(guān)鍵組成部分。泰州定制氣體管道設(shè)計(jì)

高純/特種氣體的概念，半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計(jì)的計(jì)算方法：1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數(shù)的正確確定，對(duì)氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計(jì)算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī)，并計(jì)算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。泰州定制氣體管道設(shè)計(jì)