管道、管件和閥門進場驗收應符合下列規(guī)定：1 在非潔凈室全數(shù)目測檢查管道外包裝，不得有破損、變形；2 檢查合格的管道、管件及閥門搬入潔凈室前，應在緩沖間(前室)去除外包裝薄膜；搬入潔凈室后，應按種類、規(guī)格分別存放在潔凈室的貨架上，不得直接放在地面上。潔凈室的潔凈度宜優(yōu)于或等于7級(0. 5μm)；3 進場的管道、管件和閥門應有產(chǎn)品規(guī)格、型號、合格證、材質證明、使用說明書、檢驗報告。氣瓶柜與氣瓶架的安裝：1氣瓶柜和氣瓶架應按設計要求定位。2氣瓶柜氣瓶架就位找平、找正后，應固定牢固。3氣瓶柜和氣瓶架的垂直度偏差不應大于1.5%成列盤面的垂直度偏差不應大于5mm。4 氣瓶柜的安裝應確保柜門開關自如，不得扭曲變形、關閉不嚴。根據(jù)現(xiàn)場情況和氣體特性，設計合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩(wěn)定運行。上海室外特氣管道安裝規(guī)范

特氣管道安裝：（1）根據(jù)圖紙所示位置放線定位并彈線開孔（注意預留檢修口）；將管子吊裝至預定的安裝位置后固定牢靠，并用墊板墊好管件防止滑動傷人。（一般采用膨脹螺栓固定）然后連接支吊架使管子與支吊架牢固連接起來；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺測量管子軸線與地面垂直度誤差≤0.5mm/m2，如有偏差及時調整直至合格為止；（一般用鋼卷尺檢測）如遇特殊環(huán)境可用經(jīng)緯儀或全站儀等測量儀器檢測。（一般用全站儀檢測）。同時應做好記錄以便返工處理。（一般采用經(jīng)緯儀檢測。）江蘇化驗室特氣管道安裝工程了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范。

供氣系統(tǒng)的選擇：簡單供氣系統(tǒng)，簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點。分類，特種氣體根據(jù)氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式。

硅烷特氣柜設計要求：1、因為硅烷（SiH4）的危險性，所以整套系統(tǒng)應該配備惰性吹掃裝置，而且應該設置單獨的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內(nèi)應配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生。3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應該單獨于其它氣體排氣系統(tǒng)。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設有防止回流裝置。6、排氣管應采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm。嘉興特氣管道安裝公司

管道在取掉兩層塑料外包裝后，要輕輕的取下兩端的塑料密封套，并立即充氮，防止空氣污染。上海室外特氣管道安裝規(guī)范

特氣管道安裝流程:1、管道連接時，不得強力對口。2、管口對接應檢查平直度，距接口200mm處測量，允許偏差1mm/m，全長偏差小于10mm，法蘭間連接要平行。3、采用螺紋接頭應用四氟乙烯帶填料，禁止用麻油。4、管道與支架中間應采用無氯離子塑片相隔離;穿墻管道應加套管，套管長度不應小于墻厚，中間空隙應用不燃材料填塞。5、氮氣管道應有防雷及導除靜電的接地裝置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管頂距地面)，直接埋地應作防腐處理。人體工程學:集中管道供應系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處，這樣的話可以更合理的設計工作場所。上海室外特氣管道安裝規(guī)范