江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-04-25

"滾珠絲杠型 標(biāo)準(zhǔn)級(jí)：±0.01~0.05mm（10~50μm），適用于多數(shù)自動(dòng)化設(shè)備； 精密級(jí)（預(yù)壓絲杠+高分辨率編碼器）：±0.005~0.01mm（5~10μm），如半導(dǎo)體設(shè)備。 行星滾柱絲杠型 重載場(chǎng)景下約±0.02~0.1mm，精度略低于滾珠絲杠，但抗沖擊性強(qiáng)。 同步帶型 較低精度，通?！?.1~0.5mm，適合輕載高速非精密場(chǎng)景。 直線電機(jī)直驅(qū)型 無機(jī)械背隙，可達(dá)±0.001~0.005mm（亞微米級(jí)），用于光刻機(jī)等高精領(lǐng)域。 關(guān)鍵影響因素： 絲杠導(dǎo)程誤差、反向間隙； 伺服系統(tǒng)分辨率（如17位編碼器）； 導(dǎo)向機(jī)構(gòu)剛性（導(dǎo)軌/軸承游隙）。 "

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