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RTP快速退火爐有什么特點?

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2025-04-05

①紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;②燈管功率PID控溫,可準確控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性;③標配三組工藝氣體

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
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簡介:晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
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退火爐+等離子
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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2025-04-05

    ①采用平行進氣方式,氣體的進入口設(shè)置在WAFER表面,避免退火過程中冷點產(chǎn)生,保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性;②大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理;③可測樣品尺寸為6-12英寸

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